[发明专利]一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法

权利要求书

1.一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法，其特征在于包括以下步骤：

提供蒸镀腔体与玻璃基板，将位于所述蒸镀腔体内的玻璃基板加热至一平衡温度；

提供金属掩膜，将所述金属掩膜进行预加热至所述平衡温度；

将完成预加热的所述金属掩膜传输入所述蒸镀腔体内的所述玻璃基板上进行蒸镀。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

提供暂存腔体；

将所述金属掩膜放置于所述暂存腔体内预加热至所述平衡温度。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于通过电阻式加热方式对所述金属掩膜进行预加热。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于所述暂存腔体内设有用于放置所述金属掩膜的承载平台，在所述暂存腔体的腔体四周或所述承载平台内埋设电阻式加热线，通过所述电阻式加热线对所述金属掩膜进行预加热。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于通过水温加热方式对所述金属掩膜进行预加热。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于所述暂存腔体内设有用于放置所述金属掩膜的承载平台，在所述暂存腔体的腔体四周或所述承载平台内埋设水管，通过一水温控制器对所述水管中的水加热，进而对所述金属掩膜进行预加热。