[发明专利]三氯氢硅的提纯方法有效
申请号: | 201410331701.3 | 申请日: | 2014-07-11 |
公开(公告)号: | CN104071791A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三氯氢硅 提纯 方法 | ||
1.一种三氯氢硅的提纯方法,其特征在于,包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤,所述将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括:
将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理,以获取经脱重处理得到的低沸物;
将所述经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理,以获取三氯氢硅。
2.根据权利要求1所述的提纯方法,其特征在于,所述脱重塔组包括至少两个脱重塔,所述脱轻塔组包括至少两个脱轻塔,且所述脱重塔与所述脱轻塔的总数为四至六。
3.根据权利要求1所述的提纯方法,其特征在于,将所述三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤前,还包括将所述三氯氢硅粗液在静置贮液罐中静置沉降,获取上层液的步骤;在所述静置沉降的步骤后,将所述上层液通入所述提纯塔组。
4.根据权利要求3所述的提纯方法,其特征在于,所述静置沉降的步骤中静置时间为5~60min,优选为10~20min。
5.根据权利要求3所述的提纯方法,其特征在于,将所述上层液通入所述提纯塔组的步骤前,还包括将所述上层液通入过滤装置进行过滤,获取滤液的步骤;在所述过滤步骤后,将所述滤液通入所述提纯塔组。
6.根据权利要求5所述的提纯方法,其特征在于,所述过滤的步骤中,滤液中的颗粒粒径小于100目。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的提纯方法,其特征在于,所述提纯塔组中包括与各所述脱重塔和各所述脱轻塔一一对应设置的再沸器。
8.根据权利要求7所述的提纯方法,其特征在于,各所述再沸器为强制循环式再沸器或热虹吸再沸器。
9.根据权利要求7所述的提纯方法,其特征在于,将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤中,控制流入各再沸器的液体的流速为5~6m/s。
10.根据权利要求9所述的提纯方法,其特征在于,将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤中,采用不同的回收罐分别回收各所述脱重塔产生的高沸物,以及各所述脱轻塔产生的低沸物。
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