[发明专利]吸附结构、机器人手及机器人

说明书

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种吸附结构、机器人手及机器人。

背景技术

在相关技术中，已知搬运例如晶片或玻璃基板的薄基板的基板搬运机器人(例如，参照日本专利申请公开No.2008-28134)。

机器人包括例如臂部和安装在臂部的前端部的机器人手(以下，称作“手部”)。机器人通过使手部保持基板同时使臂部在水平方向和其他方向上操作，来搬运基板。

在搬运基板的过程中，需要可靠地保持基板并防止基板的位置移动。因此，提出一种机器人，其包括具有使用真空吸盘等的吸附结构的手部，所述机器人通过使吸附结构吸附基板，从而在基板的搬运过程中保持基板。

如果在半导体制造工序中使用机器人，则基板经历诸如成膜处理等的热处理工序，因此机器人经常搬运在热处理工序中被加热到高温的基板。

然而，在上述的相关技术中，在可靠地吸附卷曲的基板方面，存在进一步改善的余地。

更具体地，有时存在基板在经历上述的热处理工序之后在热的影响下发生卷曲的情况。在该情况下，在真空吸盘的表面与基板的表面之间产生间隙。存在不能对基板进行真空吸附并将基板固定这样的问题。

该问题是由于基板的厚度减小或尺寸增大、由于基板的材质或者由于在处理工序中基板的状态变化、例如上述的热或成膜的影响而有可能发生的共同的问题。

发明内容

鉴于上述的情况，本文公开的实施方式提出一种能够可靠地吸附卷曲的基板的吸附结构、机器人手及机器人。

根据实施方式的一个方面，吸附结构包括：固定基座，所述固定基座包括环状壁部；吸盘，所述吸盘包括与将被吸附的目标物体接触的接触部；以及支承体，所述支承体被安装到环状壁部的内圆周表面并且设置为在吸盘的侧部弹性地支承吸盘的外圆周表面。吸盘和支承体限定内部空间，固定基座包括使内部空间与真空源连通的抽吸孔。

根据本文公开的实施方式的一个方面，能够可靠地吸附卷曲的基板。

附图说明

图1是根据第一实施方式的机器人的立体示意图。

图2是根据第一实施方式的手部的俯视示意图。

图3A是根据第一实施方式的吸盘的俯视示意图。

图3B是沿图3A的线IIIB-IIIB'剖开的剖视示意图。

图3C是图示根据第一实施方式的吸盘的挠性的示意图。

图3D是根据第一实施方式的支承体的立体示意图。

图3E是示出在吸盘被固定到固定基座之前根据第一实施方式的吸盘的安装结构的剖视示意图。

图3F是示出在吸盘被固定到固定基座之后根据第一实施方式的吸盘的安装结构的剖视示意图。

图3G是示出根据第一实施方式的吸盘的配置例的俯视示意图。

图4A至图4D是示出根据第一实施方式的吸盘的运动的示意图。

图5A是根据第二实施方式的吸盘的俯视示意图。

图5B是沿图5A的线VB-VB’剖开的剖视示意图。

图6A至图6D是示出根据第二实施方式的吸盘的运动的示意图。

图7A是根据第一变形例的支承体的俯视示意图。

图7B是根据第二变形例的支承体的俯视示意图。

图8A是根据第三实施方式的吸盘的俯视示意图。

图8B是当根据第三实施方式的吸盘被固定到固定基座时沿图8A的线VIIIB-VIIIB’剖开的剖视示意图。

图8C是当根据第三实施方式的变形例的吸盘被固定到固定基座时沿图8A的线VIIIB-VIIIB’剖开的剖视示意图。

图9是根据第三实施方式的另一变形例的吸盘的俯视示意图。

图10是示出弹性粘结层的示意图。

具体实施方式

现在，将参照附图对吸附结构、机器人手以及机器人的实施方式进行详细说明。本发明不限于这些实施方式。

在下文中，将以机器人是将晶片作为目标物体进行搬运的基板搬运机器人的情况为例进行说明。晶片由附图标记“W”表示，在下面的说明中，将构成机械结构并且能够相对于彼此进行运动的各个刚性元件称作“连杆”。“连杆”有时也称作“臂部”。

参照图1至图4D进行的说明涉及以在抽吸孔的周缘周围的部分从底部弹性地支承吸盘的情况为例的第一实施方式。参照图5A至图6D进行的说明涉及以在吸盘自身的外周缘的周围的部分从底部弹性地支承吸盘的情况为例的第二实施方式。

在使用图8A至图9进行的说明中，涉及以在吸盘的侧部弹性地支承吸盘的情况为例的第三实施方式。在使用其他附图进行的说明中，涉及特定的变形例。