[发明专利]电连接装置

权利要求书

1.一种电连接装置，该电连接装置具有工作台，该工作台用于将具有多个电极的被检查体保持在工作面上，并且对上述被检查体进行加热或冷却，该电连接装置用于使上述多个电极与电路检验器电连接，其特征在于，

该电连接装置包括探针卡和弹性热传导构件，

该探针卡具有：探针基板，其以一面与上述电路检验器相对的方式设置，形成有用于与上述电路检验器电连接的导电路；以及多个探针，其以与上述导电路连接的方式设于上述探针基板的另一面，能够与上述工作台上的上述被检查体的上述多个电极中的各自对应的电极接触，该探针卡能相对于上述工作台移动，

该弹性热传导构件配置在上述工作台的上述工作面与上述探针基板之间、或者上述工作面上的被检查体与上述探针基板之间，

上述弹性热传导构件能够在上述多个探针分别与所对应的上述多个电极非抵接的状态下与上述工作台的上述工作面和上述探针基板、或上述工作面上的被检查体和上述探针基板抵接，并且能够以不妨碍上述多个探针分别与所对应的上述多个电极抵接的方式弹性变形。

2.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

上述弹性热传导构件在位于上述工作台的上述工作面与上述探针基板之间或者上述工作面上的被检查体与上述探针基板之间没有受到弹性压缩的自由状态下，具有尺寸比自上述探针基板至上述探针的顶端之间的间隔长的尺寸。

3.根据权利要求2所述的电连接装置，其特征在于，

上述弹性热传导构件的靠上述探针基板侧的一端固定于上述另一面，上述弹性热传导构件的另一端越过上述探针基板的上述顶端朝向上述被检查体突出。

4.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

上述弹性热传导构件由热传导性硅橡胶形成。

5.根据权利要求4所述的电连接装置，其特征在于，

上述弹性热传导构件为以包围上述探针基板的用于配置上述探针的区域的方式排列的多个柱状体。

6.根据权利要求4所述的电连接装置，其特征在于，

上述弹性热传导构件为以包围上述探针基板的用于配置上述探针的区域的方式排列的环状构件。