[发明专利]衬底、其半导体封装及其制造工艺在审
申请号: | 201410312237.3 | 申请日: | 2014-07-02 |
公开(公告)号: | CN105226031A | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 陈天赐;王圣民;陈光雄;李育颖 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 半导体 封装 及其 制造 工艺 | ||
1.一种衬底,其包括:
下电路层,具有下表面;
上电路层,安置于所述下电路层上;
电介质层,介于所述上电路层与所述下电路层之间,且界定出多个开口;及
导电连接材料,位于所述开口中;
其中所述上电路层的部分延伸到所述开口,且通过所述导电连接材料与所述下电路层连接。
2.根据权利要求1所述的衬底,其中所述下电路层具有导电迹线以及突出部,所述突出部从所述导电迹线突出。
3.根据权利要求2所述的衬底,其中所述导电迹线与所述突出部是一体成形。
4.根据权利要求2所述的衬底,其中所述导电连接材料位于所述突出部上。
5.根据权利要求2所述的衬底,其中所述突出部的侧面及所述导电迹线的侧面均向内凹。
6.根据权利要求2所述的衬底,其中所述突出部及所述导电迹线分别具有凹侧面,所述凹侧面朝向所述上电路层。
7.根据权利要求1所述的衬底,其中所述电介质层为感光型电介质层。
8.根据权利要求1所述的衬底,其中所述下电路层的下表面与所述电介质层的表面位于同一平面。
9.根据权利要求1所述的衬底,其中所述电介质层的表面上进一步安置保护层。
10.根据权利要求9所述的衬底,其中所述保护层具有支撑层安置于其上。
11.一种半导体封装,其包括:
衬底,所述衬底包括:
下电路层,具有下表面;
上电路层,安置于所述下电路层上;
电介质层,介于所述上电路层与所述下电路层之间,且界定出多个开口;及
导电连接材料,位于所述开口中,其中所述上电路层的部分延伸到所述开口,且通过所述导电连接材料与所述下电路层连接;及
芯片,电性连接于所述上电路层。
12.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述下电路层具有导电迹线以及突出部,所述突出部从所述导电迹线突出。
13.根据权利要求12所述的半导体封装,其中所述导电迹线与所述突出部是一体成形。
14.根据权利要求12所述的半导体封装,其中所述导电连接材料位于所述突出部上。
15.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述下电路层的下表面与所述电介质层的表面位于同一平面。
16.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述突出部及所述导电迹线分别具有凹侧面,所述凹侧面朝向所述上电路层。
17.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述突出部的侧面及所述导电迹线的侧面均向内凹。
18.一种制造衬底的工艺,其包括:
提供下电路层,所述下电路层包含导电迹线及突出部;
形成电介质层以覆盖所述导电迹线及所述突出部,其中所述电介质层具有开口以暴露所述突出部;
形成导电连接材料于所述露出的所述突出部上;
安置导电箔于所述电介质层上;及
图案化所述导电箔,以形成上电路层。
19.根据权利要求18所述的制造衬底的工艺,其中提供所述下电路层更包含:
提供另一导电箔;及
图案化所述另一导电箔以形成所述突出部及所述导电迹线。
20.根据权利要求19所述的制造衬底的工艺,其中所述导电迹线与所述突出部为同一方向的蚀刻形成。
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