[发明专利]衬底、其半导体封装及其制造工艺在审

专利信息
申请号: 201410312237.3 申请日: 2014-07-02
公开(公告)号: CN105226031A 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 陈天赐;王圣民;陈光雄;李育颖 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L23/13 分类号: H01L23/13;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/60
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 衬底 半导体 封装 及其 制造 工艺
【权利要求书】:

1.一种衬底,其包括:

下电路层,具有下表面;

上电路层,安置于所述下电路层上;

电介质层,介于所述上电路层与所述下电路层之间,且界定出多个开口;及

导电连接材料,位于所述开口中;

其中所述上电路层的部分延伸到所述开口,且通过所述导电连接材料与所述下电路层连接。

2.根据权利要求1所述的衬底,其中所述下电路层具有导电迹线以及突出部,所述突出部从所述导电迹线突出。

3.根据权利要求2所述的衬底,其中所述导电迹线与所述突出部是一体成形。

4.根据权利要求2所述的衬底,其中所述导电连接材料位于所述突出部上。

5.根据权利要求2所述的衬底,其中所述突出部的侧面及所述导电迹线的侧面均向内凹。

6.根据权利要求2所述的衬底,其中所述突出部及所述导电迹线分别具有凹侧面,所述凹侧面朝向所述上电路层。

7.根据权利要求1所述的衬底,其中所述电介质层为感光型电介质层。

8.根据权利要求1所述的衬底,其中所述下电路层的下表面与所述电介质层的表面位于同一平面。

9.根据权利要求1所述的衬底,其中所述电介质层的表面上进一步安置保护层。

10.根据权利要求9所述的衬底,其中所述保护层具有支撑层安置于其上。

11.一种半导体封装,其包括:

衬底,所述衬底包括:

下电路层,具有下表面;

上电路层,安置于所述下电路层上;

电介质层,介于所述上电路层与所述下电路层之间,且界定出多个开口;及

导电连接材料,位于所述开口中,其中所述上电路层的部分延伸到所述开口,且通过所述导电连接材料与所述下电路层连接;及

芯片,电性连接于所述上电路层。

12.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述下电路层具有导电迹线以及突出部,所述突出部从所述导电迹线突出。

13.根据权利要求12所述的半导体封装,其中所述导电迹线与所述突出部是一体成形。

14.根据权利要求12所述的半导体封装,其中所述导电连接材料位于所述突出部上。

15.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述下电路层的下表面与所述电介质层的表面位于同一平面。

16.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述突出部及所述导电迹线分别具有凹侧面,所述凹侧面朝向所述上电路层。

17.根据权利要求11所述的半导体封装,其中所述突出部的侧面及所述导电迹线的侧面均向内凹。

18.一种制造衬底的工艺,其包括:

提供下电路层,所述下电路层包含导电迹线及突出部;

形成电介质层以覆盖所述导电迹线及所述突出部,其中所述电介质层具有开口以暴露所述突出部;

形成导电连接材料于所述露出的所述突出部上;

安置导电箔于所述电介质层上;及

图案化所述导电箔,以形成上电路层。

19.根据权利要求18所述的制造衬底的工艺,其中提供所述下电路层更包含:

提供另一导电箔;及

图案化所述另一导电箔以形成所述突出部及所述导电迹线。

20.根据权利要求19所述的制造衬底的工艺,其中所述导电迹线与所述突出部为同一方向的蚀刻形成。

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