[发明专利]一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法

权利要求书

1.一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：利用PECVD方法在硅片表面沉积一层一定厚度的SiNx掩膜，采用丝网印刷技术在硅片表面选择性印刷腐蚀性浆料，待SiNx掩膜被腐蚀性浆料充分腐蚀后用DI水清洗，然后用酸性刻蚀液HNO₃+HF对硅片印刷腐蚀性浆料区域进行腐蚀，再用HF去除SiNx掩膜，并用低浓度HNO₃和HF混合溶液去除硅片表面损伤层，获得具有优质陷光效果的蜂窝绒面。

2.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的SiNx掩膜的厚度控制为10~30nm。

3.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的腐蚀性浆料为NH₄F和HF混合凝胶溶液。

4.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的选择性印刷是采用图案设计为均匀排列的镂空圆孔的丝网印刷网版进行印刷，所述的网版图案中圆孔直径为 5~10um，圆孔间距为10~15um，其中圆孔区域为腐蚀性浆料印刷区域，其余区域为非腐蚀性浆料印刷区域。

5.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述SiNx掩膜被腐蚀性浆料充分腐蚀的时间控制为60~120s。

6.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的酸性刻蚀液HNO₃+HF中HNO₃∶HF的体积比为6∶1。

7.根据权利要求1所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的低浓度HNO₃和HF混合溶液是将所述的酸性刻蚀液HNO₃+HF稀释20倍所得到的溶液。

8.根据权利要求3所述的一种实现多晶硅太阳能电池蜂窝陷光绒面的方法，其特征是：所述的NH₄F和HF混合凝胶溶液中NH₄F∶HF的体积比为1∶1。