[发明专利]管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备

权利要求书

1.一种等离子体化学气相淀积设备，包括反应腔室、真空泵、尾气处理装置，连通所述反应腔室和所述真空泵的第一管道以及连通所述尾气处理装置和所述真空泵的第二管道，其特征在于，还包括所述第一管道和所述第二管道中的至少其中一个上，设置有至少一个管道搅拌装置；

所述管道搅拌装置包括：

电机；

转轴，穿设于所述管道的接口，所述转轴的一端具有沿管道轴向设置的搅拌件；

联轴器，将所述电机的输出轴与所述转轴的另一端联接；

套接于所述转轴的密封器，所述密封器密封所述转轴和所述管道的接口之间的间隙；

所述密封器包括套接于所述转轴的密封套，以及夹持所述密封套的法兰；

还包括套设于所述联轴器的固定支架，所述电机和所述密封套固定于所述固定支架；

所述搅拌件为弹簧或圆形钢丝刷，所述弹簧或圆形钢丝刷的横截面积不大于所述管道横截面积的三分之一。

2.如权利要求1所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述密封器还包括设置于所述密封套和所述转轴之间的O型密封圈、骨架型橡胶密封圈或真空转轴磁流体密封装置，以及设置于所述密封套和所述法兰之间的O型密封圈。

3.如权利要求1所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述法兰为快卸法兰。

4.如权利要求1～3任一项所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述联轴器为柔性联轴器。