[发明专利]压印装置、压印方法和制造物品的方法

说明书

公开了压印装置、压印方法和制造物品的方法。本发明提供一种把模具的图案转印到基板上的目标区域的压印装置，该压印装置包括控制单元，该控制单元被配置成在与基板的面平行的面方向上对准模具和目标区域，并且驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和目标区域上的压印材料相互接触，其中，在所述接触之前的在所述面方向上的对准中，控制单元基于在促成所述接触的驱动中模具的图案在所述面方向上相对于目标区域的偏移量，使模具和目标区域之间的相对位置偏移，以使得在所述接触之后的相对位置被设定在允许的范围内。

技术领域

本发明涉及压印装置、压印方法和制造物品的方法。

背景技术

作为制造半导体器件的光刻技术之一，把在模具上形成的图案转印到基板的压印技术正引起关注。在利用这种技术的压印装置中，使其上形成有图案的模具和在基板上供给的压印材料相互接触，并在这种状态下，固化压印材料。通过使模具与固化的压印材料分开，模具的图案可被转印到基板上。

由于要求压印装置精确地把模具图案转印到基板上，因此重要的是在与基板的面平行的面方向上精确地对准模具和基板。于是，日本专利公开No.2006-165371已经公开一种在模具和基板上的压印材料相互接触的同时在所述面方向上对准模具和基板的方法。

当在模具和基板上的压印材料相互接触的同时在所述面方向上对准模具和基板时，模具和基板的相对位置难以改变，从而进行这种对准需要相当多的时间。于是，在压印装置中，有必要首先在模具和基板上的压印材料未相互接触的同时在所述面方向上对准模具和基板，然后使模具和基板上的压印材料相互接触。然而，当在模具和基板上的压印材料未相互接触的同时在所述面方向上进行对准时，转印到基板上的模具图案有时相对于基板上的转印目标位置偏移(shift)。

发明内容

本发明提供一种有利于精确定位模具的技术。

根据本发明的一个方面，提供一种利用其上形成有图案的模具来固化基板上的压印材料从而把模具的图案转印到基板上的目标区域的压印装置，所述压印装置包括：控制单元，被配置成在与基板的面平行的面方向上对准模具和目标区域，并且驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和压印材料相互接触，其中，在所述接触之前的在所述面方向上的对准中，控制单元基于指示出在促成所述接触的驱动中模具的图案在所述面方向上相对于目标区域的偏移的量的偏移量，使模具和目标区域之间的相对位置相对于当模具和目标区域被对准时的相对位置偏移，以使得在所述接触之后的相对位置被设定在允许的范围内。

根据本发明的另一个方面，提供一种在与基板的面平行的面方向上对准其上形成有图案的模具和基板、驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和基板上的压印材料相互接触、并且在模具和压印材料相互接触的同时固化压印材料从而把模具的图案转印到基板的目标区域的压印方法，所述方法包括以下步骤：获得指示出在促成所述接触的驱动中模具的图案在所述面方向上相对于目标区域的偏移的量的偏移量；以及在所述接触之前的在所述面方向上的对准中，基于在所述获得步骤中获得的偏移量，使模具和目标区域之间的相对位置相对于当模具和目标区域被对准时的相对位置偏移，以使得在所述接触之后的相对位置被设定在允许的范围内。

根据本发明的一个方面，提供一种制造物品的方法，所述方法包括：利用压印装置来在基板上形成图案；以及加工其上已经形成所述图案的基板，以制造物品，其中，利用其上形成有图案的模具来固化基板上的压印材料从而把模具的图案转印到基板的目标区域的压印装置包括：控制单元，被配置成在与基板的面平行的面方向上对准模具和目标区域，并且驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和压印材料相互接触，其中，在所述接触之前的在所述面方向上的对准中，控制单元基于指示出在促成所述接触的驱动中模具的图案在所述面方向上相对于目标区域的偏移的量的偏移量，使模具和目标区域之间的相对位置相对于当模具和目标区域被对准时的相对位置偏移，以使得在所述接触之后的相对位置被设定在允许的范围内。

参考附图，基于对示例性实施例的以下描述，本发明的其它特征将变得清楚。