[发明专利]压印装置、压印方法和制造物品的方法

权利要求书

1.一种在使形成有图案的模具与基板中的多个区域之中的目标区域上的压印材料接触的情况下固化压印材料从而把模具的图案转印到目标区域上的压印材料的压印装置，所述压印装置包括：

测量单元，被配置成在与基板的面平行的面方向上测量模具的图案与目标区域之间的相对位置，

控制单元，被配置成在模具和压印材料不相互接触的第一状态下，控制在所述面方向上的模具的图案和目标区域之间的对准，然后驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和压印材料相互接触，

其中，所述控制单元

从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第一校正量的第一校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第一校正量，该第一校正量是用于校正将由使得模具和压印材料相互接触引起的模具的图案在所述面方向上的偏移的量，

从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第二校正量的第二校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第二校正量，该第二校正量是用于校正将被转印到压印材料的模具的图案的位置与由测量单元测得的模具的图案的位置之间的偏移的量，并且

基于所获得的第一校正量、所获得的第二校正量和在所述第一状态下的测量单元的测量结果，在所述第一状态下控制在所述面方向上的对准，以使得模具的图案与目标区域之间的相对位置被偏移所获得的第一校正量和所获得的第二校正量。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，基于在使得模具和压印材料相互接触前后在模具的图案和目标区域之间的相对位置的变化的量来设置所述第一校正量。

3.根据权利要求1所述的装置，其中

基于模具的图案和目标区域之间的相对位置与从模具被转印到压印材料的图案和目标区域之间的相对位置之间的差来预先设置所述第二校正量，所述模具的图案和目标区域之间的相对位置是在所述面方向上的对准中由测量单元测得的。

4.根据权利要求1所述的装置，其中

所述控制单元通过设置用于基板中的各区域的位置的所述第一校正量来获得所述第一校正地图。

5.根据权利要求1所述的装置，其中

所述控制单元通过设置用于基板中的各区域的位置的所述第二校正量来获得所述第二校正地图。

6.一种在使形成有图案的模具与基板中的多个区域之中的目标区域上的压印材料接触的情况下固化压印材料从而把模具的图案转印到目标区域上的压印材料的压印装置，所述压印装置包括：

测量单元，被配置成在与基板的面平行的面方向上测量模具的图案与目标区域之间的相对位置，

控制单元，被配置成在模具和压印材料不相互接触的第一状态下，控制在所述面方向上的模具的图案和目标区域之间的对准，然后驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和压印材料相互接触，

其中，所述控制单元

从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第一校正量的第一校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第一校正量，该第一校正量是用于校正将由使得模具和压印材料相互接触引起的模具的图案在所述面方向上的偏移的量，

从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第二校正量的第二校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第二校正量，该第二校正量是用于校正将被转印到压印材料的模具的图案的位置与由测量单元测得的模具的图案的位置之间的偏移的量，

基于所获得的第一校正量和在所述第一状态下的测量单元的测量结果，在所述第一状态下控制在所述面方向上的对准，以使得模具的图案与目标区域之间的相对位置被偏移所获得的第一校正量，并且

基于所获得的第二校正量和在模具和压印材料相互接触的第二状态下的测量单元的测量结果，在所述第二状态下控制在所述面方向上的对准，以使得模具的图案与目标区域之间的相对位置被进一步偏移所获得的第二校正量。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，基于在使得模具和压印材料相互接触前后在模具的图案和目标区域之间的相对位置的变化的量来设置所述第一校正量。