[发明专利]校正光束图案化的方向和位置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种校正光束图案化的方向和位置的方法，尤其涉及一种在通过光束图案化在衬底上制作特定的图案的过程中衬底发生变形时校正光束图案化的方向和位置的方法。

背景技术

喷墨和光束辐射技术用于在衬底上制作特定的图案。

由于光束图案化技术可以通过光束辐射在衬底的预期部分上制作特定的图案并且具有有可能精确且快速地应用于较大区域的优势，因此所述技术是广泛地使用的。

一般的激光图案化装置包含：处理腔室；衬底传送单元，其安装在处理腔室中，支撑衬底并且在处理进行的方向上水平地移动衬底；以及安装在处理腔室的上部部分并且发射光束的模块。来自处理腔室中的光束模块的光束可以辐射到装载到激光图案化装置的处理腔室中的衬底，以在衬底的预期部分上执行图案化处理。

然而，在执行图案化处理之前衬底可能由于热或外部物理力量而变形，并且当在这种变形衬底上执行图案化处理时，存在无法精确地进行图案化的局限性。

也就是说，当通过图案化装置中的光束辐射进行图案化时，光束的辐射可在每个区段上正常执行，前提是装载的衬底是具有普通形状而没有变形的衬底1，如图1A中所示。然而，当在执行先前处理时衬底1′已变形时，存在光束无法正确地辐射到变形的衬底上的局限性，如图1B中所示。由于通常仅考虑变形衬底的竖直收缩/膨胀且不考虑光束的辐射(图案化)的方向性，因此无法在精确位置上进行图案化。

(专利文献1)韩国专利公开案号2012-0131338。

发明内容

为了解决上述限制，当在衬底上执行图案化处理时，对光束的图案化方向和图案化位置进行校正以用于精确辐射。并且，即使衬底的形状由于膨胀或收缩发生变形，也能正确地执行光束的辐射。并且，即使衬底的形状发生变化，光束的辐射方向也不会出错。

根据示例性实施例，一种校正光束图案化的方向和位置的方法包含：将衬底装载到处理腔室中；基于表示作为变形前衬底的非变形衬底的形状的非变形衬底形状信息创建虚拟非变形衬底模型；检查装载到处理腔室中的衬底的变形水平并且创建虚拟变形衬底模型；计算作为图案化区段起始侧的中心点的图案化区段起始点以及作为图案化区段结束侧的中心点的图案化区段结束点，其中通过使用非变形衬底形状信息在变形衬底模型的每个区段上执行光束的图案化；以及考虑到图案化区段起始点与图案化区段结束点之间的斜率，确定每个区段的图案化起始衬底位置。

非变形衬底形状信息可以是关于在施加热或外部物理力量之前的基底衬底的形状信息。

非变形衬底形状信息可以包含非变形衬底的每一侧的位置和长度、图案化起始侧、图案化结束侧、非变形衬底的对齐标记坐标和光束图案化区段的数目中的至少一个。

非变形衬底模型的创建可以包含：检查非变形衬底形状信息；创建具有非变形衬底形状信息的每一侧的长度的虚拟非变形衬底模型；基于非变形衬底形状信息的对齐标记坐标在非变形衬底模型上放置作为对齐标记的非变形对齐标记。

变形衬底模型的创建可以包含：读取作为在装载到处理腔室中的衬底上形成的对齐标记的变形对齐标记；

测量标记变形水平，即，非变形对齐标记与变形对齐标记之间的变形水平；以及自非变形衬底模型创建具有图案化变形起始侧和图案化变形结束侧的变形衬底模型，所述图案化变形起始侧和图案化变形结束侧是通过按标记变形水平扩张或收缩图案化起始于的图案化起始侧和图案化结束于的图案化结束侧而获得的。

图案化区段起始点的计算可以包含：将图案化变形起始侧的整个长度划分为对应于光束图案化区段的数目的部分并且计算每个图案化区段起始侧的位置；以及将图案化区段起始侧的每个中心点作为图案化区段起始点进行计算。

每个区段的图案化起始衬底位置的确定可以包含：

计算连接图案化区段起始点和图案化区段结束点的倾角；按所述倾角旋转衬底平台从而允许衬底在平行于非变形衬底模型的图案化方向的方向上移动；以及按根据旋转的图案化区段起始点的变化水平和图案化区段结束点的变化水平移动坐标值，并且确定每个区段的最后一个图案化起始衬底位置和图案化结束衬底位置。

按倾角旋转衬底平台可以包含从支撑衬底的平台的中心点按倾角旋转衬底平台。

可以在光束的图案化在其上执行的每个区段上计算图案化区段起始点和图案化区段结束点，并且可以在对每个区段的光束图案化时将衬底移动到每个区段的图案化起始衬底位置。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示范性实施例，其中：