[发明专利]校正光束图案化的方向和位置的方法

权利要求书

1.一种校正光束图案化的方向和位置的方法，所述方法包括：

将衬底装载到处理腔室中；

基于表示作为变形前衬底的非变形衬底的形状的非变形衬底形状信息创建虚拟非变形衬底模型；

检查装载到所述处理腔室中的衬底的变形水平并且创建虚拟变形衬底模型；

计算作为图案化区段起始侧的中心点的图案化区段起始点及作为图案化区段结束侧的中心点的图案化区段结束点，其中通过使用所述非变形衬底形状信息在所述变形衬底模型的每个区段上执行光束的所述图案化；以及

考虑所述图案化区段起始点与所述图案化区段结束点之间的斜率，确定每个区段的图案化起始衬底位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述非变形衬底形状信息是关于在施加热或外部物理力量之前的基底衬底的形状信息。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述非变形衬底形状信息包括所述非变形衬底的每一侧的位置和长度、图案化起始侧、图案化结束侧、所述非变形衬底的对齐标记坐标和光束图案化区段的数目中的至少一个。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述非变形衬底模型的所述创建包括：

检查所述非变形衬底形状信息；

创建具有所述非变形衬底形状信息的每一侧的所述长度的虚拟非变形衬底模型；

基于所述非变形衬底形状信息的所述对齐标记坐标在所述非变形衬底模型上放置作为对齐标记的非变形对齐标记。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述变形衬底模型的所述创建包括：

读取作为在装载到所述处理腔室中的所述衬底上形成的对齐标记的变形对齐标记；

测量作为所述非变形对齐标记与所述变形对齐标记之间的变形水平的标记变形水平；以及

自所述非变形衬底模型创建具有图案化变形起始侧和图案化变形结束侧的变形衬底模型，所述图案化变形起始侧和所述图案化变形结束侧是通过按所述标记变形水平扩张或收缩图案化起始于的所述图案化起始侧和图案化结束于的所述图案化结束侧而获得的。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述图案化区段起始点的所述计算包括：

将所述图案化变形起始侧的整个长度划分为对应于所述光束图案化区段的数目的部分并且计算每个图案化区段起始侧的位置；以及

将所述图案化区段起始侧的每个中心点作为图案化区段起始点进行计算。

7.根据权利要求1所述的方法，其中每个区段的所述图案化起始衬底位置的所述确定包括：

计算连接所述图案化区段起始点与所述图案化区段结束点的倾角；

按所述倾角旋转衬底平台从而允许衬底在平行于所述非变形衬底模型的所述图案化方向的方向上移动；以及

按根据所述旋转的所述图案化区段起始点的变化水平和所述图案化区段结束点的变化水平移动坐标值，并且确定每个区段的最后一个图案化起始衬底位置和图案化结束衬底位置。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述衬底平台按所述倾角的所述旋转包括从支撑所述衬底的平台的中心点按所述倾角旋转所述衬底平台。

9.根据权利要求7所述的方法，其中在光束的所述图案化在其上执行的每个区段上计算所述图案化区段起始点和所述图案化区段结束点，并且在对每个区段的光束图案化时将所述衬底移动到每个区段的所述图案化起始衬底位置。