[发明专利]使用混合酸液无铬刻蚀有机聚合物的方法

权利要求书

1.一种方法，所述方法包括：

a.提供包含一种或多种有机聚合物的基材；

b.提供一种水性酸溶液，所述水性酸溶液基本由硫酸、一种或多种有机酸以及Mn(II)离子和Mn(III)离子组成；和

c.将基材的一种或多种有机聚合物与所述水性酸溶液接触，以刻蚀所述基材的一种或多种有机聚合物。

2.根据权利要求1的方法，其中所述的Mn(II)离子的浓度从0.1mmol/L到低于形成Mn(II)盐沉淀的浓度。

3.根据权利要求1的方法，其中Mn(III)离子的浓度从0.01mmol/L到低于形成Mn(III)盐沉淀的浓度。

4.根据权利要求1的方法，其中Mn(II)离子通过电解氧化为Mn(III)离子。

5.根据权利要求1的方法，其中Mn(II)离子通过氧化剂氧化为Mn(III)离子。

6.根据权利要求1的方法，其中硫酸的浓度为1wt％-89wt％。

7.根据权利要求1的方法，其中有机酸的浓度为1wt％-89％。

8.一种水性酸溶液，所述水性酸溶液基本由硫酸、一种或多种有机酸，以及Mn(II)离子和Mn(III)离子组成，并且任选地包括一种或多种催化剂、一种或多种氧化剂或它们的混合物。

9.根据权利要求8的水性酸溶液，其中所述的催化剂选自Ag(I)、Bi(III)，Ce(III)和Pb(II)。