[发明专利]适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法

权利要求书

1.一种适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

A、以各种孔径的硬质合金拉拔模具为衬底，内孔表面经稀盐酸滴加双氧水腐蚀去钴后，经碳化硅粉喷砂、金刚石微粉研磨粗化处理，洗净备用；

B、将步骤A处理后的模具进行热丝CVD法沉积金刚石涂层；

C、除内孔外，将沉积金刚石涂层的模具的其他部位用石蜡保护后，作为阳极置于稀硫酸中进行阳极氧化，洗净；

D、步骤C制得的模具内孔表面在有氧条件下进行金刚石微粉研磨抛光；

E、重复步骤C、D，至内孔表面光洁度达R_a≤0.1μm，湿润角接近于零度；即得所述适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具；

所述热丝CVD法沉积中，反应气体为氢气和掺硼的碳源气体，所述掺硼的碳源气体中硼碳原子比为0.1～1％；

步骤C中，所述稀硫酸浓度为0.02～0.2mol/L，所述阳极氧化采用的电极电压2～5V，时间为20～60min。

2.根据权利要求1所述的适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法，其特征在于，所述碳源为甲烷和含氧有机低分子化合物的混合气体；所述碳源中碳氧原子比为2～10。

3.根据权利要求2所述的适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法，其特征在于，所述含氧有机低分子化合物包括乙醇、丙酮、甲醇中的一种或几种。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法，其特征在于，所述热丝CVD法沉积的工艺条件为：热丝位于孔径轴线位置，反应压力为2～8kPa，气体总流量400～1000ml/min，碳源/氢气体积比1～5％，热丝温度2000～2300℃，直流偏流2～10A，经4～8小时沉积得到10～20μm的导电金刚石涂层。

5.根据权利要求1所述的适用于水润滑的金刚石涂层拉拔模具制备方法，其特征在于，步骤D中，所述金刚石微粉的粒度为5～20μm，研磨抛光时间为0.5～5h。