[发明专利]一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法

权利要求书

1.一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，其特征在于，使用旋涂法依次涂覆不同钛锆酸钡和钛酸钡钙比例的锆钛酸钡钙溶胶，制备梯度厚膜，具体包括如下步骤：

步骤1、以化学通式(1-x)Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃-x(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃为依据，其中x=0.6，按化学通式中的比例称取乙酸钡、一水乙酸钙、钛酸四丁酯、硝酸氧锆，溶于冰醋酸、乙二醇甲醚和去离子水中，制得BZT-0.6BCT溶胶； 

步骤2、以化学通式(1-x)Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃-x(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃为依据，令x=0.55，0.5，0.45，0.4，参照步骤1分别配置BZT-0.55BCT溶胶、BZT-0.5BCT溶胶、BZT-0.45BCT溶胶、BZT-0.4BCT溶胶；

步骤3、将步骤1所述BZT-0.6BCT溶胶旋涂到Pt/Ti/SiO₂基底上，进行中间热处理降温后，在中间处理得到的膜上继续旋涂步骤2所述BZT-xBCT溶胶，进行中间热处理，降温后重复涂膜直至最后一层旋涂；

步骤4、将步骤3所述旋涂至最后一层的湿膜进行最终热处理，得到锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜。

2.根据权利要求1所述锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，其特征在于，步骤3中所述中间热处理工艺为：先以10℃/min的速度升温至150℃，保温10min，再以2.5℃/min的速度升温至500℃，保温30min，自然冷却至室温。

3.根据权利要求1所述锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，其特征在于，步骤3中所述旋涂顺序依次为BZT-0.6BCT溶胶、BZT-0.55BCT溶胶、BZT-0.5BCT溶胶、BZT-0.45BCT溶胶、BZT-0.4BCT溶胶。

4.根据权利要求1所述锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，其特征在于，步骤4中所述最终热处理工艺为先以10℃/min的速度升温至150℃，保温10min，再以2.5℃/min的速度升温至500℃，保温30min，最后以10-12℃/min的速度升温至800℃，保温120min。