[发明专利]一种晶圆版图的CDSEM测量方法

权利要求书

1.一种晶圆版图的CDSEM测量方法，包括：

步骤(a)选择测量图案，并检查所述测量图案是否已经用作定位图案；

步骤(b)选择所述测量图案的定位图案，并检测所述定位图案是否为所有测量图案中的一个，以防止所述测量图案作为另一测量图案的定位图案，避免所述测量图案在CDSEM测量中被电子放射多次。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤(a)中，若所述测量图案已经用作定位图案，则查找到选用所述测量图案作为定位图案的点，对所述点重新选择定位图案，选用测量图案以外的图案作为所述定位图案；

若所述测量图案没有用作定位图案，执行步骤(b)。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述步骤(a)中，若所述测量图案已经用作定位图案，则发出警告。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤(b)中，若所述定位图案为所有测量图案中的一个，则对所述定位图案进行重新选择，选用测量图案以外的图案作为所述定位图案。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步骤(b)中，若所述定位图案为所有测量图案中的一个，则发出警告。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，若所述定位图案没有用作测量图案，则对所述定位图案进行编辑。

7.根据权利要求1或6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括对所述测量图案进行编辑测量的步骤。