[发明专利]涂布器以及涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及为了将涂布液涂布于基板等上而具有用于排出涂布液的排出细缝的涂布器以及包括该涂布器的涂布装置。

背景技术

作为将涂布液涂布于玻璃基板或者薄膜等基板(被涂布部件)上的装置，已知的有具有涂布器的涂布装置，所述涂布器具有用于排出涂布液的排出细缝。该涂布装置除了具有所述涂布器以外，还具有用于放置基板的平台、用于积存涂布液的罐、以及用于将所述罐的涂布液供给到涂布器的泵等。

在涂布器的宽度方向上形成有长长的排出细缝，通过使该涂布器相对于平台上的基板水平移动的同时从排出细缝排出涂布液，由此可以在基板表面上用涂布液形成薄膜(涂布膜)。

在该涂布器中，设置有涂布液流入用的流入口和在宽度方向上长长的歧管(型腔)，从流入口流入到歧管的涂布液在所述歧管中暂时积攒之后通过排出细缝排出于基板上。

近几年，提出的方案有如下的涂布器(例如，参照专利文献1和图1)：为了提高涂布膜厚度的精度，在涂布器上设置有上下两个歧管，上下两个歧管通过节流流路连接。在该涂布器中，由于涂布液在上侧(上游侧)的歧管中在宽度方向上分散，进而该涂布液在下侧(下游侧)的歧管中在宽度方向上分散，因此从排出细缝排出的涂布液的排出状态(流量)在排出细缝的整个宽度方向上均匀分布，从而可以提高基板表面的涂布膜厚度的精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1特开2012-239930号公报

发明内容

但是，利用上述的涂布器进行涂布作业时，空气可能会混入到涂布器内的涂布液中。其原因如下：空气从涂布液到达涂布器之前涂布液通过的配管的连接部件(接缝)处进入或空气从泵的滑动部件处进入，或者溶于涂布液的空气在歧管中发泡，或者在用于给涂布器供给涂布液的阀门开启和关闭时空气被吸入，或者根据涂布液的容积因该阀门的开启和关闭动作而发生变化导致的溶于涂布液的空气发泡，或者在清扫排出细缝或作为排出细缝出口的排出口时空气从该排出细缝进入。

这样，如果空气混入于涂布器内的涂布器中，则会发生以下问题：涂布作业开始时由于涂布压力的上升变慢而涂布开始部分的膜厚变薄，或者由于空气向基板排出而发生小孔、纵筋等涂布缺陷。尤其是，如果空气混入于下侧的歧管的涂布液中，则难以排出所述空气，所述问题可能会长期存在。

因此，本发明的目的在于迅速排出歧管内的空气。

本发明提供一种涂布器，包括：流入口，用于流入涂布液；排出细缝，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成，其特征在于，所述涂布器进一步包括：多个歧管，所述多个歧管在所述一个方向上长长地形成，所述多个歧管至少包含与所述流入口连接的上侧歧管、和与所述排出细缝连接的下侧歧管；节流流路，所述节流流路连接所述多个歧管，并且在所述一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上通过节流后狭窄地形成；排气孔，在包含所述节流流路与连接于所述节流流路下游侧的所述歧管的境界的区域上开口。

下侧歧管的上部中存在的空气因浮力作用而欲通过与该下侧歧管上侧(也就是上游侧)连接的节流流路向上侧歧管移动，但是，如果节流流路狭窄，则空气无法通过节流流路而滞留于下侧歧管内，因此难以被排出。但是，根据本发明，由于排气孔在包含节流流路与下侧歧管的境界的区域上开口，因此，可以将存在于该歧管上部的空气通过该排气孔迅速排出。

另外，所述排气孔优选在包含所述境界的位置上开口。

另外，所述排气孔优选在与所述节流流路的下游侧连接的所述歧管的上缘部上开口。

另外，所述排气孔优选在所述节流流路的下游侧端部上开口。

通过这些排气孔，可以得到容易排出存在于歧管上部的空气的结构。

另外，当排气孔为在包含所述境界的区域中向所述一个方向开口的孔时，在从节流流路流出的涂布液的流速大的条件下，由于受在节流流路中通过的涂布液的阻碍而使存在于歧管上部的空气进入该排气孔的功能可能会下降。

因此，所述排气孔优选的是在包含所述境界的区域中向与所述一个方向交叉的方向开口的孔。

这种情况下，形成为即使从节流流路流出的涂布液的流速大也使通过排气孔的空气收集不易受到在节流流路中通过的涂布液的影响的结构。因此，可以使存在于歧管上部的空气有效地进入到排气孔。