[发明专利]涂布器以及涂布装置

权利要求书

1.一种涂布器，包括：流入口，用于流入涂布液；排出细缝，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成，

其特征在于，所述涂布器进一步包括：

多个歧管，所述多个歧管在所述一个方向上长长地形成，所述多个歧管至少包含与所述流入口连接的上侧歧管、和与所述排出细缝连接的下侧歧管；

节流流路，所述节流流路连接所述多个歧管，并且在所述一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上通过节流后狭窄地形成；

排气孔，在包含所述节流流路与连接于所述节流流路下游侧的所述下侧歧管的境界的区域上开口。

2.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在包含所述境界的位置上开口。

3.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在与所述节流流路的下游侧连接的所述下侧歧管的上缘部上开口。

4.根据权利要求1所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔在所述节流流路的下游侧端部上开口。

5.根据权利要求1至4任一项所述的涂布器，其特征在于，所述排气孔是在包含所述境界的区域中向与所述一个方向交叉的方向开口的孔。

6.一种涂布装置，其特征在于，包括：

平台，放置被涂布部件；

涂布器，相对于所述被涂布部件排出涂布液；

液体积存部，积存涂布液；

送液装置，将所述液体积存部的涂布液供给到所述涂布器中；

驱动装置，使所述平台上的所述被涂布部件和所述涂布器中的一方相对于另一方移动；

其中，所述涂布器为权利要求1至5任一项所述的涂布器。