[发明专利]真空喷镀装置用原料气体喷嘴

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，更详细地，涉及一种随着离供原料气体移动的移动管的两侧越近，用于喷射原料气体的喷射孔的数量越多，以使能够向基板的一面喷射均匀量的原料气体的真空喷镀装置用原料气体喷嘴。

背景技术

一般而言，真空喷镀装置是一种利用对原料物质实施蒸发而获得的原料气体，向基板喷镀薄膜的装置。更详细地，真空喷镀装置是一种在真空状态下对原料物质实施蒸发，并通过喷嘴来向基板喷射原料物质经蒸发而生成的原料气体，以此来向基板喷镀薄膜的装置。

以往的真空喷镀装置包括：第一气体移动管，使所述原料气体供给并移动，且外周面形成有用于喷射所述原料气体的喷射孔；第二气体移动管，用于收容所述第一气体移动管，向基板的一面喷射从所述第一气体移动管喷射的所述原料气体。所述第一气体移动管的一侧与原料气体供给部相连接，接收由所述原料气体供给部供给的原料气体。在此情况下，所述第一气体移动管的所述喷射孔的数量密度以与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的一侧为中心，并随着与所述第一气体移动管的一侧的距离增加而增加或者所述喷射孔密集形成在所述第一气体移动管的中央。随之，流入所述第一气体移动管的所述原料气体通过所述喷射孔来流入到第二气体移动管，并向所述基板的一面喷射。

但是，当所述喷射孔以其数量密度随着与所述第一气体移动管的一侧的距离增加而增加的方式形成时，从与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的一侧喷射的原料气体的量多于未与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的另一侧喷射的原料气体的量。并且，当所述喷射孔密集形成在所述第一气体移动管的中央时，从所述第一气体移动管的中央喷射的原料气体的量多于从所述第一气体移动管的两侧喷射的量。即，由于从第一气体移动管喷射的原料气体的量不均匀，因此存在所述喷嘴无法向基板的一面喷射均匀量的原料气体的问题。

发明内容

为了解决所述技术问题，本发明的目的在于，提供一种可使通过喷嘴来喷射的原料气体在基板得到均匀分布的真空喷镀装置用原料气体喷嘴。

本发明的目的不限于所述提及内容，本发明所属技术领域的普通技术人员可从如下记载内容中明确了解未被提及的其他目的。

为了解决所述问题，根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：第一气体移动管，一侧与原料气体供给部相连接，内部收容有第一加热器，外周面形成有第一喷射孔，所述第一喷射孔用于喷射从所述原料气体供给部供给的原料气体；第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有多个第二喷射孔，所述多个第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体；所述多个第二喷射孔的数量密度以所述第二气体移动管的中央为中心，并随着与所述中央的距离增加而增加。

并且，所述第一喷射孔可形成在所述第一气体移动管的外周面的中央。

并且，所述多个第二喷射孔以所述第二气体移动管的中央为中心，离所述中央越远所形成的间距越窄。

并且，所述第一气体移动管还可以包括温度传感器，所述温度传感器位于所述第一气体移动管的内部，并与所述第一加热器相隔预定间距。

并且，所述第一喷射孔和所述多个第二喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置。

并且，所述第一气体移动管及所述第二气体移动管可由石英(quartz)形成。

并且，还可以包括：第三气体移动管，所述第三气体移动管的内部收容有所述第二气体移动管，外周面形成有第三喷射孔，所述第三喷射孔用于喷射从所述第二气体移动管流入的原料气体。

并且，所述第一气体移动管、所述第二气体移动管及所述第三气体移动管可由石英(quartz)形成。

并且，通过所述第一喷射孔来喷射的所述原料气体可流入所述第一气体移动管的外周面和所述第二气体移动管的内周面之间的空间，通过所述第二喷射孔来喷射的原料气体可流入所述第二气体移动管的外周面和所述第三气体移动管的内周面之间的空间。

并且，所述第一喷射孔和所述第二喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置，所述第二喷射孔和所述第三喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置。

并且，还可以包括：喷射罩，所述喷射罩形成在所述第三气体移动管的外周面，用于引导从所述第三喷射孔喷射的所述原料气体的喷射方向。

并且，还可以包括：第二加热器，配置在所述第三气体移动管的外周面的预定位置。