[发明专利]真空喷镀装置用原料气体喷嘴

权利要求书

1.一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，包括：

第一气体移动管，一侧与原料气体供给部相连接，内部收容有第一加热器，外周面形成有第一喷射孔，所述第一喷射孔用于喷射从所述原料气体供给部供给的原料气体；

第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有多个第二喷射孔，所述多个第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体，

而且，所述多个第二喷射孔的数量密度以所述第二气体移动管的中央为中心，随着与所述中央的距离增加而增加。

2.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一喷射孔形成于所述第一气体移动管的外周面的中央。

3.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述多个第二喷射孔以所述第二气体移动管的中央为中心，离所述中央越远所形成的间距越窄。

4.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一气体移动管还具有温度传感器，所述温度传感器位于所述第一气体移动管的内部，并与所述第一加热器以预定间距相隔设置。

5.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一喷射孔和所述多个第二喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置。

6.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一气体移动管及所述第二气体移动管由石英形成。

7.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

第三气体移动管，内部收容有所述第二气体移动管，外周面形成有第三喷射孔，所述第三喷射孔用于喷射从所述第二气体移动管流入的原料气体。

8.根据权利要求7所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一气体移动管、所述第二气体移动管及所述第三气体移动管由石英形成。

9.根据权利要求7所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，

通过所述第一喷射孔来喷射的所述原料气体流入到所述第一气体移动管的外周面与所述第二气体移动管的内周面之间的空间，通过所述第二喷射孔来喷射的原料气体流入到所述第二气体移动管的外周面与所述第三气体移动管的内周面之间的空间。

10.根据权利要求7所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，

所述第一喷射孔与所述第二喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置；

所述第二喷射孔与所述第三喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置。

11.根据权利要求7所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

喷射罩，形成于所述第三气体移动管的外周面，用于引导从所述第三喷射孔喷射的所述原料气体的喷射方向。

12.根据权利要求7所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

第二加热器，配置于所述第三气体移动管的外周面的预定位置。