[发明专利]一种方形熔融石英陶瓷坩埚的生产方法

权利要求书

1.一种方形熔融石英陶瓷坩埚的生产方法，其使用的原料为：SiO2含量在99.9%以上的直径为0.075mm—1.5mm的熔融钝角石英砂；其特征是：

（1）将定量的SiO2含量在99.9%以上、直径为0.075mm—1.5mm的熔融钝角石英砂在真空状态下送入石墨成型模具，通过震动的方法以减小石英砂颗粒间的空隙，震动时间为15-20分钟；

（2）将石墨成型模具在真空状态下送入电弧炉，在电弧炉中加热至1850-1870℃，使石英砂全部处于熔融状态后停止加热，自然冷却降温至常温后移出电弧炉，脱去石墨成型模具；

（3）将成型的坩埚用高压水进行喷淋清洗干净后自然晾干；

（4）将晾干的坩埚送入窑炉开始加热升温，先经2-3小时的时间将烧结温度缓慢的从0℃升至400℃后，再在1小时时间内将烧结温度快速的从400℃升至1150-1200℃，维持此温度26-28小时后停止加热，逐步降温至常温后得到方形熔融石英陶瓷辊坩埚。

2.根据权利要求1所述的一种方形熔融石英陶瓷坩埚的生产方法，其步骤（2）的特征是：所述的在真空状态下用电弧炉加热的温度为1860℃。

3.根据权利要求1所述的一种方形熔融石英陶瓷坩埚的生产方法，其步骤（4）的特征是：所述的窑炉内的烧结温度为1175℃，烧结的总时间为27小时。

4.根据权利要求1所述的一种方形熔融石英陶瓷坩埚的生产方法，其步骤（4）的特征是：所述的窑炉为煤气发生梭式窑炉。

5.方形熔融石英陶瓷坩埚的用途是：作为在多晶硅的铸锭环节，充当多晶硅化料和长晶的容器。