[发明专利]电子装置及其制作方法有效
申请号: | 201410188251.7 | 申请日: | 2014-05-06 |
公开(公告)号: | CN104241322B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 蔡奇哲;陈钰尧;许博云;吴威谚 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 装置 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明是关于一种电子装置及其制作方法,尤指一种适用于软性基板的电子装置及其制作方法。
背景技术
随着电子产品薄型化及轻量化的要求,显示面板的玻璃基板由以往的约0.4mm厚度的玻璃基板朝0.3mm厚度的可挠式基板发展。
然而,当可挠式基板为一厚度为0.3mm或以下的薄玻璃或塑料基板时,若直接于其上形成显示元件以制作显示面板时,往往因可挠式基板的刚性不足,而无法直接进行现有的面板工艺。
因此,为了符合现有的面板工艺,一般解决方法是将可挠式基板负载于另一玻璃载板增加刚性,待工艺完成后再以激光将载板与可挠式基板分离。
然而,使用激光方式进行分离时,往往面临激光机台造价昂贵、激光波长选择性少且工艺时间长的问题,有时更面临因激光功率太强,导致元件被破坏或塑料可挠式基板黄化甚至是碳化的情形,导致最后做出的电子产品合格率不佳。
因此,目前亟需发展出一种新颖的电子装置的制作方法,其可解决前述问题并达到直接于现有机台上制作的目的。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种以可挠式基板所制得的电子装置。
本发明的另一目的在于提供一种前述电子装置的制作方法,以能在现有机台上制作出薄型化且轻量化的电子元件。
为达成上述目的,本发明的电子装置的制作方法包括下列步骤:(A)提供一载板,该载板上形成有一离型层,其中该离型层的材料包括:一包含至少一选自由芳基、硝基及酮基所组成群组的硅氧烷或聚亚酰胺化合物;(B)设置一基板于该离型层上以使该离型层设于该载板与该基板间,其中该基板具有一第一表面及一第二表面,且该第二表面与该离型层相接触;(C)于该基板的该第一表面上形成一电子元件层;以及(D)由该载板的一侧提供一光照使该离型层的材料反应,以使该载板与该基板分离,以制得一电子装置,其中一离型残留层形成于该基板的该第二表面上,且该离型残留层的材料包括:一包含至少一选自由芳基、硝基及酮基所组成的群组的化合物。
通过本发明前述的制作方法,则可制得本发明的电子装置,包括:一基板,具有一第一表面及一第二表面;一电子元件层,设于该基板的该第一表面上;一离型残留层,设于该基板的该第二表面上,其中该离型残留层的材料包括:一包含至少一选自由芳基、硝基及酮基所组成群组的化合物。
在本发明的电子装置的制作方法中,该离型层的材料可如下式(I)或(II)所示:
其中,
Z1选自由O、S、N(H)、C(Rc)2、及一键所组成的群组;
Z2选自由O、S、及N(H)所组成的群组;
Z3为HPO3或SO3;
Ra选自由以下所组成的群组:
其中,*表示与键结位置;
每一R1是各自独立选自由氢、C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基(-OH)、巯基(-SH)、羧基(-COOH)、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基(-CN)、硝基(-NO2)、含有至少一杂原子的饱和或不饱和的5-6员杂环基、-N(R5)2及芳基所组成的群组,其中该杂环基及该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
每一R2是各自独立选自由氢、C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基、羧基、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基、硝基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
每一R3是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
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