[发明专利]电子装置及其制作方法有效
申请号: | 201410188251.7 | 申请日: | 2014-05-06 |
公开(公告)号: | CN104241322B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 蔡奇哲;陈钰尧;许博云;吴威谚 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 装置 及其 制作方法 | ||
1.一种电子装置,其特征在于,包括:
一基板,具有相对应的一第一表面及一第二表面;
一电子元件层,设于该基板的该第一表面上;
一离型残留层,设于该基板的该第二表面上,其中该离型残留层的材料包括:一包含至少一选自由芳基、硝基及酮基所组成群组的化合物;
其中该离型残留层的材料包括:至少一由下式(I)或(II)的材料经光照后所形成的衍生物;
其中,
Z1选自由O、S、N、C(Rc)2、及一键所组成的群组;
Z2选自由O、S、及N所组成的群组;
Z3为HPO3或SO3;
Ra选自由以下所组成的群组:
及
其中,*表示与键结位置;
每一R1是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基(-OH)、巯基(-SH)、羧基(-COOH)、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基(-CN)、硝基(-NO2)、含有至少一杂原子的饱和或不饱和的5-6员杂环基、-N(R5)2及芳基所组成的群组,其中该杂环基及该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
每一R2是各自独立选自由氢、C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基、羧基、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基、硝基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
每一R3是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;
每一R4是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基、卤素及羟基所组成的群组;
每一R5是各自独立为氢或C1-6烷基;
X为O或S;
n为介于0至5的整数;
m为介于0至4的整数;
l为介于0至3的整数;且
k为介于0至2的整数;
Rb为-Si(ORd)3、或
每一Rc是各自独立为氢或C1-6烷基;
每一Rd是各自独立为氢或C1-6烷基;
每一Re是各自独立为一经一取代基取代或未取代的芳基;
p为介于1至5的整数;以及
q为介于50至500的整数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的