[发明专利]电子装置及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201410188251.7 申请日: 2014-05-06
公开(公告)号: CN104241322B 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 蔡奇哲;陈钰尧;许博云;吴威谚 申请(专利权)人: 群创光电股份有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/56;G02F1/1333
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 曹玲柱
地址: 中国台湾新竹科学工*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 电子 装置 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种电子装置,其特征在于,包括:

一基板,具有相对应的一第一表面及一第二表面;

一电子元件层,设于该基板的该第一表面上;

一离型残留层,设于该基板的该第二表面上,其中该离型残留层的材料包括:一包含至少一选自由芳基、硝基及酮基所组成群组的化合物;

其中该离型残留层的材料包括:至少一由下式(I)或(II)的材料经光照后所形成的衍生物;

其中,

Z1选自由O、S、N、C(Rc)2、及一键所组成的群组;

Z2选自由O、S、及N所组成的群组;

Z3为HPO3或SO3

Ra选自由以下所组成的群组:

其中,*表示与键结位置;

每一R1是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基(-OH)、巯基(-SH)、羧基(-COOH)、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基(-CN)、硝基(-NO2)、含有至少一杂原子的饱和或不饱和的5-6员杂环基、-N(R5)2及芳基所组成的群组,其中该杂环基及该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;

每一R2是各自独立选自由氢、C1-6烷基、C1-6卤烷基、C1-6烷氧基、羟基、羧基、卤素、经取代基取代的C1-6烷基、经取代基取代的C1-6烷氧基、C2-6烯基、氰基、硝基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;

每一R3是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基及芳基所组成的群组,其中该芳基是选择性的经一取代基取代或未取代;

每一R4是各自独立选自由C1-6烷基、C1-6卤烷基、卤素及羟基所组成的群组;

每一R5是各自独立为氢或C1-6烷基;

X为O或S;

n为介于0至5的整数;

m为介于0至4的整数;

l为介于0至3的整数;且

k为介于0至2的整数;

Rb为-Si(ORd)3、或

每一Rc是各自独立为氢或C1-6烷基;

每一Rd是各自独立为氢或C1-6烷基;

每一Re是各自独立为一经一取代基取代或未取代的芳基;

p为介于1至5的整数;以及

q为介于50至500的整数。

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