[发明专利]一种晶体切割方法有效
申请号: | 201410187536.9 | 申请日: | 2014-05-05 |
公开(公告)号: | CN105082375B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 涂衡;胡章贵;岳银超;赵营 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 王文君 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 切割 方法 | ||
1.一种晶体切割方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
S1、利用单晶定向仪对待切割晶体进行定向,掌握晶体的方向信息;
S2、利用三维扫描仪对待切割的晶体进行扫描,获得晶体各个晶面的精确三维尺寸、晶面角度和晶面分布的数据信息;
S3、将步骤S2得到的晶体的数据信息输入晶体切割模拟软件进行编辑;
S4、在步骤S3中所述的晶体切割模拟软件中对晶体进行模拟切割,获知切割后的晶体的数据信息,与所需晶体数据比对,直到切割出符合要求的晶体为止,根据模拟结果制定出切割方案;
S5、在待切割的晶体上切割出一个基准面,对基准面进行定向测量,如果误差小于误差范围的要求,则进入下一步骤;如果误差范围超过误差范围要求,则需重新切割基准面,直至满足要求;
S6、依照步骤S4制定出的切割方案对晶体进行切割,切割完成后对晶面进行定向测量。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤S3中的晶体切割模拟软件为solidwork软件。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述三维扫描仪为接触式三维扫描仪或非接触式三维扫描仪。
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