[发明专利]分区域压差风量梯度平衡系统

权利要求书

1.分区域压差风量梯度平衡系统，其特征在于对整个系统服务区域内的洁净室进行区域划分，将具有活动相似度的洁净室划分为同一区域，进而实现对整个系统服务区域内分区和分室管理。

2.根据权利要求1所述的分区域压差风量梯度平衡系统，其特征在于包括：机组平衡管控子系统、输送平衡管控子系统、区域平衡管控子系统以及洁净室管控子系统；所述洁净室管控子系统用于对洁净室的风量、压差进行测量与调节，保证洁净室的参数满足生产要求；所述区域平衡管控子系统用于对使用情况相似的洁净室进行管控，避免洁净室之间相互影响；所述输送平衡管控子系统用于控制不同区域的风量，保证不同区域间的风量平衡；所述机组平衡管控子系统用于测量、控制与平衡各机组子系统的送风量、新风量与排风量。

3.根据权利要求1所述的分区域压差风量梯度平衡系统，其特征在于将压差梯度和风量平衡作为一个整体进行联动调节。