[发明专利]高精度激光功率闭环控制器

权利要求书

1.一种高精度激光功率闭环控制器，其特征在于包括使用可编程逻辑控制器(PLC)控制步进电机，调节圆形连续可变金属型中性密度滤光片的旋转，中性密度滤光片的反射光经光电转换后反馈至可编程逻辑控制器，实现激光功率的长时间稳定输出。

2.根据权利要求1所述的高精度激光功率闭环控制器，其特征在于所述激光器(1)的输出光束(8)经圆形连续可变金属型中性密度滤光片(2)反射和透射，反射光(9)投射到光电探头(3)上，此信号经放大电路(4)后输入可编程逻辑控制器(7)，通过预先设定的程序将控制信号传递给步进电机驱动器(6)，再由驱动器控制步进电机(5)的转动，从而带动中性减光板(2)转动，使其达到合适的衰减量以保证获得稳定的激光光束(10)。

3.根据权利要求2所述的高精度激光功率闭环控制器，其特征在于光电探头接收的反射光信号随激光器输出功率而浮动，并且与光束最后的输出成线性互补关系。

4.根据权利要求3所述的高精度激光功率闭环控制器，其特征在于适合调节任何波长，任意大小的激光功率，结构简单，操作方便，调节功率稳定可靠，不受任何干扰，当激光输出功率缓慢变化时，能得到变化范围为≤1％的稳定功率输出。