[发明专利]ESD检测方法、装置以及ESD调试方法、装置有效

专利信息
申请号: 201410181425.7 申请日: 2014-04-30
公开(公告)号: CN105092994B 公开(公告)日: 2017-11-28
发明(设计)人: 林松;李宏伟 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;G01R31/28
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: esd 检测 方法 装置 以及 调试
【说明书】:

技术领域

发明涉及电子设备检测技术,尤其涉及一种ESD检测方法、装置以及ESD调试方法、装置。

背景技术

芯片在整个制造生产过程中,都会受到静电释放(Electro-Static Discharge,ESD)的影响。当芯片的外部环境或芯片内部累积的静电荷,通过芯片管脚流入或流出芯片时,会在极短的时间内产生峰值电流或电压,对芯片造成严重破坏,如暂时的功能丧失或永久损伤。此外,ESD还可能会吸附灰尘,缩短芯片的寿命,或者产生电磁干扰,影响芯片的正常工作。因此,芯片的ESD检测就成为了芯片研制过程中一项重要的任务。

芯片的组成器件非常多,目前较前沿的芯片可包括超过1,000,000,000个器件,占据了大约6000μm×6000μm的芯片面积(die area)。现有的自动程式化检查全芯片的on-chip(芯片上)ESD保护电路完备性的检测方法,较少有披露,且通常仅是在器件级进行检测,因此需要非常长的时间才能完成对全芯片的ESD检测,检测效率低下。

发明内容

本发明实施例解决的问题是如何减少ESD的检测时间,提高检测效率。

为解决上述问题,本发明实施例提供一种ESD检测方法,包括:接收输入文件,所述输入文件包括电路版图文件、技术工具文件和环境参数文件;通过所述技术工具文件提取对应所述版图文件的网表;检测所述网表中挂载在电源线上的电路单元所设置的ESD保护器件的类型;通过检测所述网表的电路单元的分布坐标,获取所述网表中各电路单元的分布范围;计算所述各电路单元分布范围与网表中顶层电路单元分布范围的比值;当所述比值大于或等于第一预设值时,判定所述电路单元中包括核芯器件,并判断所述ESD保护器件的类型是否为适用于核芯器件的ESD保护器件;当所述ESD保护器件的类型不适用于核芯器件的ESD保护器件时,判定电路违反ESD设计规则;当所述比值小于所述第一预设值时,分别检测所述电路单元中是否包含核芯器件;当所述电路单元中包含核芯器件时,判断所述ESD保护器件的类型是否为适用于核芯器件的ESD保护器件;当所述ESD保护器件的类型为不适用于核芯器件的ESD保护器件时,判定电路违反ESD设计规则。

可选的,所述检测所述网表中挂载在电源线上的电路单元所设置的ESD保护器件的类型包括:在芯片的输入输出区中,检测所述电路单元的电源线上是否设置有满足预设尺寸范围的器件;当所述电路单元的电源线上设置有满足预设尺寸范围的器件时,判定所述具有预设尺寸范围的器件为适用于输入输出器件的ESD保护器件。

可选的,所述ESD检测方法还包括:检测所述网表中芯片核芯区中同类型器件器件点的坐标值,并获得同类型器件的覆盖范围;比较不同类型器件的覆盖范围,并将覆盖范围最小的同类型器件作为聚类;计算所述聚类的边界到所述聚类外各器件器件点之间的距离;当所述距离大于第二预设值时,检测所述聚类外的器件到所述聚类中各器件的信号线负载端上是否设置有ESD保护器件;当所述聚类外的器件到所述聚类中各器件的信号线负载端上未设置ESD保护器件时,判定所述芯片的核芯区违反ESD设计规则。

可选的,所述ESD检测方法还包括:在所述网表的芯片输入输出区中,通过抽取所述电路版图文件中器件连接的寄生电阻,获取相邻电源钳位之间的电阻值;当所述电阻值大于第三预设值时,判定所述芯片输入输出区违反ESD设计规则。

可选的,所述ESD检测方法还包括:检测所述芯片的核芯区中不同的电源域中是否存在跨电源域的信号线;当不同的电源域中存在跨电源域的信号线时,检测所述信号线上是否设置有与预设的器件模型相一致的器件;当所述信号线上设置有与预设的器件模型相一致的器件时,判定所述跨电源域的信号线具有ESD保护器件;当所述信号线上未设置有与预设的器件模型相一致的器件时,判定所述跨电源域之间违反ESD设计规则。

可选的,所述ESD检测方法还包括:依次检测所述网表中跨电源域的地之间是否包含预设的子电路,所述子电路为由至少一种预设数目的二极管串联形成;当所述跨电源域的地之间未包含所述至少一种所述子电路时,判定所述跨电源域之间违反ESD设计规则。

可选的,所述ESD检测方法还包括:计算执行每条所述ESD检测规则的检测时间;当所述检测时间超过第四预设值时,跳出当前正在执行的ESD检测规则,并执行下一条ESD检测规则。

可选的,在通过技术工具文件提取对应版图文件的网表之前,还包括:检测所述芯片的输入文件以及ESD检测标准文件是否完整,并返回检测结果。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410181425.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top