[发明专利]ESD检测方法、装置以及ESD调试方法、装置有效
申请号: | 201410181425.7 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN105092994B | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 林松;李宏伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | esd 检测 方法 装置 以及 调试 | ||
1.一种芯片的ESD检测方法,其特征在于,包括:
接收输入文件,所述输入文件包括电路版图文件、技术工具文件和环境参数文件;
通过所述技术工具文件提取对应所述版图文件的网表;
检测所述网表中挂载在电源线上的电路单元所设置的ESD保护器件的类型;
通过检测所述网表的电路单元中器件的分布坐标,获取所述网表中各电路单元的分布范围;
计算所述各电路单元分布范围与网表中顶层电路单元分布范围的比值;
当所述比值大于或等于第一预设值时,判定所述电路单元中包括核芯器件,并判断所述ESD保护器件的类型是否为适用于核芯器件的ESD保护器件;当所述ESD保护器件的类型不适用于核芯器件的ESD保护器件时,判定电路违反ESD设计规则;
当所述比值小于所述第一预设值时,分别检测所述电路单元中是否包含核芯器件;当所述电路单元中包含核芯器件时,判断所述ESD保护器件的类型是否为适用于核芯器件的ESD保护器件;当所述ESD保护器件的类型为不适用于核芯器件的ESD保护器件时,判定电路违反ESD设计规则。
2.如权利要求1所述的ESD检测方法,其特征在于,所述检测所述网表中挂载在电源线上的电路单元所设置的ESD保护器件的类型包括:
在芯片的输入输出区中,检测所述电路单元的电源线上是否设置有满足预设尺寸范围的器件;
当所述电路单元的电源线上设置有满足预设尺寸范围的器件时,判定所述具有预设尺寸范围的器件为适用于输入输出器件的ESD保护器件。
3.如权利要求1所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括:
检测所述网表中芯片核芯区中同类型器件器件点的坐标值,并获得同类型器件的覆盖范围;
比较不同类型器件的覆盖范围,并将覆盖范围最小的同类型器件作为聚类;
计算所述聚类的边界到所述聚类外各器件器件点之间的距离;
当所述距离大于第二预设值时,检测所述聚类外的器件到所述聚类中各器件的信号线负载端上是否设置有ESD保护器件;
当所述聚类外的器件到所述聚类中各器件的信号线负载端上未设置ESD保护器件时,判定所述芯片的核芯区违反ESD设计规则。
4.如权利要求1所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括:
在所述网表的芯片输入输出区中,通过抽取所述电路版图文件中器件连接的寄生电阻,获取相邻电源钳位之间的电阻值;
当所述电阻值大于第三预设值时,判定所述芯片输入输出区违反ESD设计规则。
5.如权利要求1所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括:
检测所述芯片的核芯区中不同的电源域中是否存在跨电源域的信号线;
当不同的电源域中存在跨电源域的信号线时,检测所述信号线上是否设置有与预设的器件模型相一致的器件;
当所述信号线上设置有与预设的器件模型相一致的器件时,判定所述跨电源域的信号线具有ESD保护器件;当所述信号线上未设置有与预设的器件模型相一致的器件时,判定所述跨电源域违反ESD设计规则。
6.如权利要求5所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括:
依次检测所述网表中跨电源域的地之间是否包含预设的子电路,所述子电路为由至少一种预设数目的二极管串联形成;
当所述跨电源域的地之间未包含所述至少一种所述子电路时,判定所述跨电源域之间违反ESD设计规则。
7.如权利要求1所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括:
计算执行每条ESD检测规则的检测时间;
当所述检测时间超过第四预设值时,跳出当前正在执行的ESD检测规则,并执行下一条ESD检测规则。
8.如权利要求1-7任一项所述的ESD检测方法,其特征在于,在通过技术工具文件提取对应版图文件的网表之前,还包括:
检测所述芯片的输入文件以及ESD检测标准文件是否完整,并返回检测结果。
9.如权利要求8所述的ESD检测方法,其特征在于,还包括以下至少一种:
判断所述输入文件的信息是否正确;
获取所述网表中器件的标签信息,并判断所述标签信息是否正确。
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