[发明专利]探针卡装置在审
| 申请号： | 201410163458.9 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103969475A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡装置，包括探针卡和探针卡平台，所述探针卡平台具有凹槽，所述凹槽用于放置所述探针卡，其特征在于，所述探针卡的外侧设置有至少一个接触孔以便于放置或移动所述探针卡，所述接触孔与所述凹槽相连通。
2.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述接触孔的数目为多个，沿所述探针卡的外侧一周对称排布。
3.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述凹槽的形状为半圆形、圆形、椭圆形中的一种或者其中的组合。
4.如权利要求3所述的探针卡装置，其特征在于，所述凹槽的形状为半圆形，所述凹槽的直径范围为2厘米，所述半圆形的直径与所述探针卡的外侧相切。
5.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述凹槽利用切割技术对所述探针台进行切割形成。
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