[发明专利]激光功率稳定控制方法及系统有效
| 申请号: | 201410142336.1 | 申请日: | 2014-04-10 |
| 公开(公告)号: | CN103904548A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
| 发明(设计)人: | 郝冀;覃涛;吕洪杰;翟学涛;杨朝辉;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号: | H01S3/13 | 分类号: | H01S3/13 |
| 代理公司: | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陈琳 |
| 地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光 功率 稳定 控制 方法 系统 | ||
1.一种激光功率稳定控制方法,包括以下步骤:
设置1/2波片,接收激光单元输出的线偏振光;
设置偏振分束器,接收1/2波片的输出,透射其水平方向偏振光形成输出激光、反射其垂直方向偏振光;
获取输出激光的功率输出比值与1/2波片旋转角度的函数关系;
对输出激光功率进行反馈控制。
2.根据权利要求1所述的控制方法,其特征在于:所述获取输出激光的功率输出比值与1/2波片旋转角度函数关系的步骤包括:
旋转1/2波片,记录其不同旋转角度值及各角度值所对应的功率输出比值;
对采集到的角度值及功率输出比值进行三次样条插值计算,确定功率输出比值与旋转角度的函数关系式。
3.根据权利要求1或2所述的控制方法,其特征在于:所述对输出激光功率进行反馈控制的步骤包括:
设定目标功率值、初始功率输出比值、及功率误差范围;
读取当前功率值;
判断当前功率与目标功率的差值是否在功率误差范围内;
若否,调整1/2波片的旋转角度。
4.根据权利要求3所述的控制方法,其特征在于:所述调整1/2波片旋转角度的步骤包括:
根据目标功率值、当前功率值及初始功率输出比值计算目标功率输出比值;
根据功率输出比值与1/2波片旋转角度的函数关系计算目标角度;
旋转1/2波片至目标角度。
5.根据权利要求4所述的控制方法,其特征在于:所述目标功率输出比值=目标功率值/当前功率值×初始功率输出比值。
6.一种激光功率稳定控制系统,其特征在于,包括:
1/2波片,用于接收激光单元输出的线偏振光;
偏振分束器,用于接收1/2波片的输出,透射其水平方向偏振光形成输出激光、反射其垂直方向偏振光;
函数获取模块,用于获取输出激光的功率输出比值与1/2波片旋转角度的函数关系;
反馈控制模块,用于对输出激光功率进行反馈控制。
7.根据权利要求6所述的控制系统,其特征在于,所述函数获取模块包括:
数据采集模块,用于采集1/2波片不同旋转角度值及各角度值所对应的功率输出比值;
函数计算模块,用于对采集到的角度值及功率输出比值进行三次样条插值计算,确定功率输出比值与旋转角度的函数关系式。
8.根据权利要求7所述的控制系统,其特征在于,所述数据采集模块包括:
光束取样镜,用于对所述输出激光进行取样;
激光功率探头,用于将光束取样镜获取的光信号转换为电信号。
9.根据权利要求6或7或8所述的控制系统,其特征在于,所述反馈控制模块包括:
参数设定模块,用于设定目标功率值、初始功率输出比值、及功率误差范围;
功率读取模块,用于读取当前功率值;
误差判断模块,用于判断当前功率与目标功率的差值是否在功率误差范围内;
角度调整模块,用于在当前功率不满足功率误差要求时,计算目标功率输出比值及其所对应的目标角度,并控制1/2波片旋转至目标角度。
10.根据权利要求6或7或8所述的控制系统,其特征在于,该系统还包括遮光座,用于收集偏振分束器所反射的垂直方向偏振光。
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