[发明专利]搬运系统

权利要求书

1.一种搬运系统，其特征在于，包括：承载机台、控制主机、通讯模块、搬运车及执行模块；其中，

所述承载机台用于承载晶圆盒；

所述控制主机与所述承载机台相连接，用于建立通讯和存储所述晶圆盒的相关信息；

所述通讯模块的第一端与所述承载机台相连接，所述通讯模块的第二端与所述控制主机及所述搬运车相连接；通过所述通讯模块在所述承载机台与所述控制主机及所述搬运车之间实现通讯；

所述执行模块的第一端与所述控制主机相连接，所述执行模块的第二端与所述搬运车相连接；通过所述执行模块来控制所述搬运车执行搬运操作。

2.如权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，所述搬运车上设置有与所述通讯模块的第二端相连接的第一感应模块；通过所述通讯模块获得所述承载机台上是否承载有晶圆盒的信息，并将信息反馈给所述第一感应模块。

3.如权利要求2所述的搬运系统，其特征在于，所述第一传感模块支持E84协议。

4.如权利要求1中任一项所述的搬运系统，其特征在于，所述承载机台上设置有惰性气体填充装置，用于将原先充满晶圆盒内的空气置换成惰性气体。

5.如权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，所述承载机台上还设置有第二感应模块，及批货ID辨别读取模块；其中，所述第二感应模块用于感应所述承载机台上是否承载有晶圆盒；所述批货ID辨别读取模块用于读取有关晶圆盒的相关数据，对晶圆盒进行位置的追踪。

6.如权利要求5所述的搬运系统，其特征在于，所述通讯模块的第一端与所述承载机台上设置的所述第二感应模块相连接。

7.如权利要求5所述的搬运系统，其特征在于，所述控制主机与设置于所述承载机台内部的所述批货ID辨别读取模块相连接。

8.如权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，所述控制主机与所述通讯模块之间的通讯方式为半双工的通讯方式。

9.如权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，所述控制主机及所述通讯模块均支持依据PLC通讯标准格式自定义的通讯协议。

10.如权利要求9所述的搬运系统，其特征在于，所述通讯协议包括对程序中PLC读或写数据的格式、控制字符、及看门狗程序的定义；其中所述看门狗程序用于对通讯模块与所述控制主机之间的通讯状态进行监测。