[发明专利]一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，将经双面研磨后的蓝宝石衬底片放入旋转加工台的工件位中，利用喷射处理装置将碳化硼粉末喷射到蓝宝石衬底片的加工面上以达到所需的粗糙度，具体包括：

⑴ 所述工件位的孔深大于蓝宝石衬底片的厚度0.5mm～1mm，以保证蓝宝石衬底片在被加工时的稳定性； 

⑵ 旋转加工台以逆时针方向旋转，转速在20rpm～50rpm；

⑶ 碳化硼粉末喷枪设置在90°、180°和270°三个位置，而且分别以30～60次/min的速度来回移动，以保证蓝宝石衬底片被加工面粗糙度的均一性；

⑷ 碳化硼粉末喷枪的枪口口径为10mm～20mm；

⑸ 碳化硼粉末喷枪的喷射压力为0.12 MPa～0.60MPa；

⑹ 碳化硼粉末为#120～#320。

2.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，所述的喷射压力通过直接调整喷枪压力来调整。

3.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，所述的喷射压力通过调整喷枪与蓝宝石衬底片之间的距离来调整，所述喷枪与蓝宝石衬底片之间的距离为5mm～100mm。

4.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，所述的喷射压力通过调整喷枪与蓝宝石衬底片的角度来调整，所述喷枪与蓝宝石衬底片的角度即喷射角度为1°～90°。