[发明专利]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵

权利要求书

1.一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，所述下泵体上设有进液口、出液口，所述下泵体内设有阀腔体，所述上泵体的上表面设有平面螺旋线圈，该平面螺旋线圈与外部电源电连接；所述基片和所述下泵体形成液体腔，该液体腔与所述进液口、阀腔体连通，所述阀腔体与所述出液口连通，所述液体腔与所述进液口的连接处设有单向进液膜，所述液体腔与所述阀腔体连接处设有单向出液膜；所述基片的上表面设有正磁致伸缩效应薄膜，下表面设有逆磁致伸缩效应薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述正、逆磁致伸缩效应薄膜均有2片，分布于所述基片两端。

3.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述单向进液膜的一端粘接在所述液体腔内壁上形成悬臂梁结构，所述单向出液膜的一端粘接在所述阀腔体内壁上形成悬臂梁结构。

4.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述平面螺旋线圈上覆盖有绝缘保护层。

5.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述平面螺旋线圈采用光刻或腐蚀工艺制作。

6.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述正磁致伸缩效应薄膜的材料为TbDyFe合金，所述逆磁致伸缩效应薄膜的材料为SmFe合金。

7.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述基片由硅薄片制成。

8.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微泵，其特征在于：所述单向进、出液膜由橡胶、塑胶或硅薄膜制成。