[发明专利]一种铜锌锡硫‑硫化铜‑铜锡硫薄膜的合成方法有效

专利信息
申请号: 201410124033.7 申请日: 2014-03-28
公开(公告)号: CN103915528B 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 高濂;王静;张鹏;宋雪峰;李泓墨 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海旭诚知识产权代理有限公司31220 代理人: 郑立
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 铜锌锡硫 硫化铜 铜锡硫 薄膜 合成 方法
【权利要求书】:

1.一种铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的合成方法,其特征在于,合成步骤如下:

(1)配制电解液:将铜盐、锌盐、锡盐、硫代硫酸钠、柠檬酸三钠和酒石酸分别溶解到水中,然后再混合,混合均匀后调节pH值;

(2)清洗基片:金属Mo片作为基片,用氢氧化钠溶液擦拭表面,除去表面锈迹,然后在乙醇、去离子水中逐次进行超声清洗,除去表面油渍;

(3)电化学沉积:将清洗好的基片放入已经配制好的电解液中,设定沉积电压和时间并开始,所述沉积电压是-1.05V,所述沉积电压为相对于Ag/AgCl电极的电压,沉积时间是15~60分钟,沉积结束后将基片取出,用大量的去离子水和乙醇冲洗并吹干;

(4)将步骤(3)得到的样品在氮气或者氩气中煅烧1小时,得到铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜;

所述步骤(4)中的煅烧温度范围为350℃;

所述步骤(1)中,室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯化亚锡、0.02摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸水溶液;或室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸水溶液;将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。

2.如权利要求1所述的合成方法,其特征在于,所述步骤(2)中的氢氧化钠溶液浓度为1~15摩尔/升,超声时间为5~30分钟。

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