[发明专利]一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法有效
| 申请号: | 201410118196.4 | 申请日: | 2014-03-27 |
| 公开(公告)号: | CN103846250A | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
| 发明(设计)人: | 黄汇丰;张弢;蒋德念 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;B01D35/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 超声波 清洗 过滤器 装置 方法 | ||
1.一种超声波清洗槽的过滤器排液装置,包括依次连接的过滤器、排液管路、超声波清洗槽,所述排液管路相对于水平面倾斜设置,其特征在于,所述排液管路的低处端设有三通接头,所述三通接头包括第一接头、第二接头、第三接头,所述第一接头、第二接头连通所述排液管路,所述第三接头用于排出所述排液管路中的液体,且所述第三接头上设有手阀用于控制所述第三接头打开或关闭。
2.根据权利要求1所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述第三接头上增设一段延伸管路。
3.根据权利要求2所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述过滤器的下方设有底盘,所述底盘用于固定安装所述过滤器,且所述底盘上设有排液口供所述延伸管路伸出排液。
4.根据权利要求3所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述底盘相对于水平面倾斜设置且与所述排液管路平行。
5.根据权利要求3所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述延伸管路的下方配置一个用于盛装排出液的容器。
6.根据权利要求5所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述容器为1L的量杯。
7.根据权利要求1所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置,其特征在于,所述排液管路上设有用于将所述排液管路中液体抽出的送液泵。
8.一种基于权利要求1-7任一所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置的排液方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、打开手阀,所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头;
S2、等待所述排液管路中的液体排送完毕,关闭手阀。
9.根据权利要求8所述的排液方法,其特征在于,所述步骤S1中首先通过送液泵从所述排液管路中抽出部分液体,然后打开手阀,所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头。
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