[发明专利]沟槽加工工具、及使用其的沟槽加工装置

权利要求书

1.一种沟槽加工工具，是被保持于保持具，并与该保持具一起移动而用以在基板的主面形成往该移动方向延伸的沟槽，其特征在于，具备：

保持部，是被保持于该保持具；以及

加工部，是形成于该保持部的前端，且具有沟槽加工用的刀刃；

在该沟槽加工工具进行形成该沟槽时的姿势中，与该主面平行的面中的该刀刃的剖面形状，是沿与该主面垂直的方向一定。

2.根据权利要求1所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该刀刃以前端朝向该移动方向的方式相对于该保持部倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

在该沟槽加工工具进行形成该沟槽时的姿势中，该刀刃的移动方向侧的面即前倾面与该主面的法线所形成的前倾角为正。

4.根据权利要求1或2所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，可相对于该保持部取出。

5.根据权利要求3所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，可相对于该保持部取出。

6.根据权利要求1或2所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，进一步具有形成于该保持部的前端的基座；

该刀刃，形成于该基座的前端。

7.根据权利要求3所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，进一步具有形成于该保持部的前端的基座；

该刀刃，形成于该基座的前端。

8.根据权利要求4所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，进一步具有形成于该保持部的前端的基座；

该刀刃，形成于该基座的前端。

9.根据权利要求5所述的沟槽加工工具，其特征在于其中，

该加工部，进一步具有形成于该保持部的前端的基座；

该刀刃，形成于该基座的前端。

10.一种沟槽加工装置，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项的沟槽加工工具、

载置基板的平台、

保持该沟槽加工工具的保持具、及

用于使该保持具相对于该平台相对移动的移动支持机构。