[发明专利]X射线分析装置

说明书

相关申请

本申请要求申请日为2013年3月25日、申请号为日本特愿2013-061644的申请的优先权，通过参照其整体，将其作为本申请的一部分的内容而引用。

技术领域

本申请涉及一种对所谓波峰偏离进行补偿的X射线分析装置。

背景技术

目前，例如在波长色散型荧光X射线分析装置中，向试样照射一次X射线，通过分光元件对试样所发出的荧光X射线进行分光，通过检测器检测被分光的荧光X射线并产生脉冲。该脉冲的电压即波高值对应于荧光X射线的能量，具体来说普遍认为有比例关系。此外，单位时间内的脉冲数与荧光X射线的强度相对应。因此，通过脉冲幅度分析器，筛选脉冲中的在规定电压范围(通过设定上限值和下限值来规定，称为窗口值)内的脉冲，其计数率(单位时间内的脉冲数)作为X射线强度由计数器等计数机构求得。

但是，众所周知，在例如使用比例计数管作为检测器的场合，当高强度的荧光X射线入射到检测器时，被送至脉冲幅度分析器的脉冲的电压即波高值例如在数秒内快速降低百分之几十，或者有时在此后的例如数十分钟内在几个百分比左右的范围内波动。该现象被称为波峰偏离、波高值的偏差等，如果发生波峰偏离，则会导致在和目标波长有偏差的不恰当的设定窗口值下进行测定，从而无法正确地进行分析(参见专利文献1～4)。在除了波长色散型荧光X射线分析装置以外的X射线分析装置中也会有该问题，另外，虽然有程度的差别，但是也可在使用比例计数管以外的检测器的场合发生(参见专利文献3、4)。

因此，作为用于补偿波峰偏离的第1现有技术中有以下的装置，在预备测定中，基于通过计数机构得到的X射线强度推测波峰位置，在正式测定中，将推测的波峰位置与相当于原本的波高值的基准位置一致化，从而改变检测器发出的脉冲的增益(参见专利文献1、2)。在此，通过实验预先求出下述关系，即，计数机构所求得的X射线强度与能量谱中降低并稳定后的波峰位置的关系。此外，作为用于补偿波峰偏离的第2现有技术中有以下装置，通过计数机构获得能量谱，在包含基准位置的规定的能量范围中检测波峰位置，将该检测出的波峰位置与基准位置一致化，从而将检测器发出的脉冲的增益动态地(实时)变更(参照专利文献3、4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开昭58-187885号公报

专利文献2：JP特开2005-9861号公报

专利文献3：JP特开平6-130155号公报

专利文献4：JP特公昭62-12475号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，为了使波峰偏离所导致的降低的波峰位置变得稳定，即使在较短的场合也需要数秒，故如果在稳定之前应用第1现有技术，推测波峰位置，基于波峰的变更补偿波峰位置，开始正式测定，则波峰位置从降低到稳定的期间，得到补偿的波峰位置高于相当于原本的波高值的基准位置，从而无法正确地进行分析。虽然如此，但是为了进行正确的分析，如果将正式测定的开始时刻推迟到波峰偏离所致的降低的波峰位置并且稳定时，即使时间较短也必须花费数秒时间，仅在分析上花费了很多时间。在波高峰值快速下降后的数十分钟内依然不稳定的场合，在短时间内进行正确的分析会变得更加困难。此外，由于通过计数机构所求得的X射线强度与能量谱中降低并稳定后的波峰位置的关系，在每个X射线分析装置中均有微小差别，故为了进行正确的分析，需要通过实验在各X射线分析装置中预先求出该关系。在更换各X射线分析装置中的检测器时，需要求得更换后的检测器的上述关系。

另一方面，作为第2现有技术，如果X射线强度发生快速的变化，则有观测不到波峰位置而无法正确地进行检测的风险，在该场合下，无法正确地分析。

因此，本发明的目的在于提供一种X射线分析装置，即使发生了波峰偏离，该X射线分析装置也能迅速且适当地进行补偿，能在短时间内做出正确的分析。

解决课题用的技术方案

为了达成该目的，本发明提供了一种X射线分析装置，其包括：检测器，该检测器产生与射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与前述X射线的强度相对应的数量来产生；高速AD转换器，该高速AD转换器将该检测器所产生的脉冲数字化；计数机构，该计数机构对于该高速AD转换器所发出的脉冲，分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，作为获得相对于波高的计数率的分布的能量谱，并基于该能量谱算出上述X射线的强度；波峰位置稳定化机构，该波峰位置稳定化机构对于上述高速AD转换器所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化。