[发明专利]X射线分析装置

权利要求书

1.一种X射线分析装置，其包括：

检测器，该检测器产生与射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与前述X射线的强度相对应的数量来产生；

高速AD转换器，该高速AD转换器将该检测器所产生的脉冲数字化；

计数机构，该计数机构对于该高速AD转换器所发出的脉冲，分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，获得作为相对于波高的计数率的分布的能量谱，基于该能量谱算出上述X射线的强度；

波峰位置稳定化机构，该波峰位置稳定化机构对于上述高速AD转换器所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化，

其特征在于，所述波峰位置稳定化机构包括：

输入脉冲乘法器，该输入脉冲乘法器输入上述高速AD转换器发来的脉冲，改变增益并将该增益输出；

第1补偿机构，该第1补偿机构基于通过上述计数机构求得的计数率的总数，推测出上述能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；

第2补偿机构，该第2补偿机构在通过上述计数机构得到的能量谱中，在包括上述基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与上述基准位置一致化的增益值；

增益加法器，该增益加法器输入上述初始值和上述动态补偿值，将两者相加并输出到上述输入脉冲乘法器。

2.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其中，所述波峰位置稳定化机构包括：

零位置补偿机构，在通过上述计数机构得到的能量谱中，检测出零波峰位置，并输出用于将该检测出的零波峰位置与零基准位置一致化的零位置用增益值，所述零波峰位置是指，在包含与零波高相对应的零基准位置的规定的能量范围内，将没有信号时的水平的频率设为峰值的位置；

零位置加法器，该零位置加法器设置于上述高速AD转换器与上述输入脉冲乘法器之间，输入上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值，将上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值相加并输出至上述输入脉冲乘法器。

3.根据权利要求1或2所述的X射线分析装置，其中，所述检测器为流气式比例计数管，所述波峰位置稳定化机构包括：

测定上述检测器的温度的温度传感器和/或测定上述检测器的气压的压力传感器；

气体密度补偿机构，该气体密度补偿机构基于上述温度传感器的测定温度和/或上述压力传感器的测定压力，推测上述能量谱中的波峰位置，输出用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的气体密度用增益系数；

初始值乘法器，该初始值乘法器设置于上述第1补偿机构与上述增益加法器之间，输入上述初始值与上述气体密度用增益系数，将上述初始值与上述气体密度用增益系数相乘并输出至上述增益加法器。