[发明专利]多晶硅锭边尾料表面预处理装置及其处理方法

权利要求书

1.一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置，包括长方体形腐蚀池体（1），其特征在于，在长方体形腐蚀池体（1）的底面中央设置有排液管路（4），在排液管路（4）上设置有排液控制阀（5），在长方体形腐蚀池体（1）的左右两内侧面底部均设置有池底凹槽（2），在池底凹槽（2）中设置有电加热器（3），在长方体形腐蚀池体（1）内分别连通有酸液输入管（8）、碱液输入管（9）、净水输入管（12）和压缩空气输入管（13），在长方体形腐蚀池体（1）的底面上设置有料筐支撑网罩台（6），在料筐支撑网罩台（6）上活动设置有料筐（10），在料筐（10）中设置有边尾料（11）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置，其特征在于，在长方体形腐蚀池体（1）的池口一侧设置有抽风筒（10），在长方体形腐蚀池体（1）的底部设置有温度传感器（7）。

3.一种多晶硅锭边尾料表面处理方法，包括以下步骤：

第一步、先启动设置在长方体形腐蚀池体（1）的池口一侧的抽风系统，使抽风筒（10）处于负压状态，将装满边尾料（11）的料筐（10）放置到长方体形腐蚀池体（1）的底面上设置的料筐支撑网罩台（6）上；

第二步、关闭排液控制阀（5），打开碱液输入管（9），将预先配置好的浓度为100-110克/每升，温度为40-50摄氏度的碱液打入长方体形腐蚀池体（1）内，打入的碱液要淹没料筐（10）中设置的边尾料（11），然后，同时打开压缩空气输入管（13）和电加热器（3），对打入到长方体形腐蚀池体（1）内的碱液进行加热和鼓泡，控制碱液温度在65-70摄氏度，鼓泡浸泡时间4小时30分钟后，打开排液控制阀（5）将长方体形腐蚀池体（1）内的碱液排尽；

第三步、打开净水输入管（13），对边尾料（11）进行喷淋，喷淋1分钟；

第四步、关闭排液控制阀（5），打开酸液输入管（8），将预先配置好的浓度为30%，温度为室温的酸液打入长方体形腐蚀池体（1）内，打入的酸液要淹没料筐（10）中设置的边尾料（11），然后，同时打开压缩空气输入管（13）和电加热器（3），对打入到长方体形腐蚀池体（1）内的酸液进行加热和鼓泡，控制酸液温度在30-40摄氏度，鼓泡浸泡时间2-4分钟后，打开排液控制阀（5）将长方体形腐蚀池体（1）内的酸液排尽；

第五步、打开净水输入管（12），对边尾料（11）进行喷淋，喷淋1分钟；

第六步、将长方体形腐蚀池体（1）内放满净水，浸泡2分钟后，打开排液控制阀（5）将污水排净。