[发明专利]基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，具有以下步骤：

(1)清洗柔性基底PI

将基底PI，即聚酰亚胺，依次放入去离子水、丙酮溶剂及无水乙醇中分别超声清洗20～40分钟，随后放入质量分数为5～10%的醋酸溶液中浸泡15～30分钟，除去表面有机物杂质；再用去离子水洗净，最后将PI烘干备用。

(2)制备金属钒纳米薄膜

将清洗好的PI置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室，采用金属钒作为靶材，以氩气作为工作气体，本底真空度为(4～6)×10^-4Pa，基片温度为室温，氩气气体流量为45～48mL/min，溅射工作气压为2Pa，溅射功率100～150W，溅射时间10～50min，在PI表面沉积金属钒纳米薄膜；

(3)基于柔性基底金属钒纳米薄膜的热处理

将步骤(2)制得的金属钒纳米薄膜置于快速热处理设备中，采用氧气作为工作气体，氧气气体流量为3～5slpm，热处理温度为300～400℃，热处理时间为120～180s。

2.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)柔性基底PI的介电常数为3.4，耐高温达400℃。

3.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)PI的规格为1cm×1cm的矩形。

4.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)金属钒的质量纯度为99.99%，氩气的质量纯度为99.999%。

5.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的工作气体氧气的质量纯度为99.999%。

6.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)制备的金属钒薄膜厚度为10～75nm。

7.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)的超高真空对靶磁控溅射设备的为DPS-Ⅲ型超高真空对靶磁控溅射设备。

8.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的快速热处理设备为AG610型快速热处理设备。

9.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的热处理后形成的纳米氧化钒薄膜厚度为20～150nm。

10.根据权利要求1所述的基于柔性基底具有相变特性纳米氧化钒功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)氧化钒成分为VO_X，其中0.5﹤X﹤2.5。