[发明专利]低温泵及真空排气方法

说明书

本申请主张基于2013年3月25日申请的日本专利申请第2013-062560号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及真空排气方法。

背景技术

低温泵一般具备温度不同的两种低温板。气体冷凝在低温的低温板上。随着低温泵的使用，在低温低温板上冷凝层逐渐成长，最终可能会与高温的低温板接触。如此一来，在高温低温板与冷凝层的接触部位，气体再次气化且向周围释放。之后，低温泵将无法充分发挥原来的作用。因此，此时的气体吸留量赋予低温泵最大吸留量。

专利文献1：日本特开2009-275672号公报

发明内容

本发明的一方式的示例性目的之一在于提高低温泵的气体吸留量。

根据本发明的一方式，提供一种低温泵，其具备：制冷机，具备第1冷却台及被冷却至温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件，且与所述第1冷却台热连接；以及第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，所述板部件具备：板主体部；以及外缘部，用于将所述板主体部安装于所述放射屏蔽件上，所述板主体部具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域，在所述主体部上形成于与所述气体通过区域不同的位置。

根据本发明的一方式，提供一种使用低温泵的真空排气方法，其中，所述低温泵具备横跨主开口的板部件和与所述板部件对置的所述第2低温板；所述方法为，将所述板部件及所述第2低温板分别冷却至第1温度及低于第1温度的第2温度；通过形成于所述板部件的表面的一部分上的多个小孔，将气体接收在所述板部件与所述第2低温板之间；以及使所述气体冷凝在所述第2低温板上。

根据本发明的一方式，提供一种低温泵，其具备：第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件；以及第2低温板，具备与所述板部件对置的前表面，且被冷却至温度低于所述第1低温板，所述前表面具备中心区域以及包围所述中心区域的外侧区域，所述板部件具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔，且与所述外侧区域对置；以及气体遮蔽区域，与所述中心区域对置。

根据本发明的一方式，提供一种低温泵，其具备：第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及配设于所述主开口的入口低温板；以及第2低温板，被所述第1低温板包围，且被冷却至温度低于所述第1低温板，所述放射屏蔽件具备包围所述第2低温板的侧部，在所述侧部与所述第2低温板之间形成有具有狭窄部的间隙，所述入口低温板在与所述狭窄部对应的位置具备气体遮蔽区域。

此外，将本发明的构成要件或表现，在方法、装置及系统等之间相互替换，也作为本发明的方式有效。

发明效果

根据本发明，能够提高低温泵的气体吸留量。

附图说明

图1是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图2是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的低温泵的主要部分的俯视图。

图3是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图4是示意表示本发明的第2实施方式所涉及的低温泵的主要部分的俯视图。

图5是示意表示本发明的第3实施方式所涉及的低温泵的主要部分的俯视图。

图6是示意表示本发明的第4实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图7是示意表示本发明的第5实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图8是示意表示本发明的一种实施方式所涉及的板安装部的剖视图。

图中：10-低温泵，16-制冷机，18-第1低温板，20-第2低温板，22-第1冷却台，24-第2冷却台，26-屏蔽件开口，30-放射屏蔽件，32-板部件，36-屏蔽件侧部，37-安装座，41-开环状部分，42-安装孔，43-侧向间隙，44-开环状间隙，46-上方间隙，48-下方间隙，50-板主体部，52-板外缘部，54-小孔，56-气体通过区域，58-气体遮蔽区域，61-顶板前表面，62-中心区域，63-外侧区域，74-缺口部。

具体实施方式