[发明专利]低温泵及真空排气方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，具备第1冷却台及被冷却至温度低于所述第1冷却台的第2冷却台，并且所述制冷机配置成与低温泵的中心轴正交；

第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件，且与所述第1冷却台热连接；以及

第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，并且所述第2低温板具备与所述板部件对置的顶板，

所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述顶板的侧向且用于安装所述第1冷却台；以及开环状部分，在周向上与所述安装座邻接，

在所述安装座与所述顶板之间形成有包括狭窄部的侧向间隙，在所述开环状部分与所述顶板之间形成有开环状间隙，所述开环状间隙与所述侧向间隙连接从而形成闭环状间隙，

所述板部件具备：板主体部；以及外缘部，用于将所述板主体部安装于所述放射屏蔽件上，

所述板主体部具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域，在所述板主体部上且形成于与所述气体通过区域不同的位置，

所述气体遮蔽区域在周向上的位置形成于与所述狭窄部对置的位置。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板具备与所述板主体部对置的前表面，所述前表面具备中心区域和包围所述中心区域的外侧区域，

所述气体通过区域与所述外侧区域对置，所述气体遮蔽区域与所述中心区域对置。

3.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，具备第1冷却台及被冷却至温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；

第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件，且与所述第1冷却台热连接；以及

第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，

所述板部件具备：板主体部；以及外缘部，用于将所述板主体部安装于所述放射屏蔽件上，

所述板主体部具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域，在所述主体部上且形成于与所述气体通过区域不同的位置，

所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述第2低温板的侧向，且用于将所述制冷机安装于所述放射屏蔽件上；以及环状部分，与所述安装座邻接且包围所述第2低温板，

在所述第2低温板与所述安装座之间形成有侧向间隙，在所述第2低温板与所述环状部分之间形成有与所述侧向间隙连续的环状间隙，

所述第2低温板的形状或配置被调整为使所述侧向间隙的在低温泵的径向上的宽度与所述环状间隙的在低温泵的径向上的宽度一致。

4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板具有使所述侧向间隙宽度扩大的缺口部。

5.根据权利要求3或4所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板被配置成从穿过所述主开口的轴线偏离所述第2低温板的中心，以使所述第2低温板与所述安装座拉开距离。

6.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，具备第1冷却台及被冷却至温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；

第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及横跨所述主开口的板部件，且与所述第1冷却台热连接；以及

第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，

所述板部件具备：板主体部；以及外缘部，用于将所述板主体部安装于所述放射屏蔽件上，

所述板主体部具备：气体通过区域，具有用于使冷凝在所述第2低温板上的气体通过的多个小孔；以及气体遮蔽区域，在所述主体部上且形成于与所述气体通过区域不同的位置，

在所述放射屏蔽件上形成有用于安装所述制冷机的安装孔，

所述制冷机具备连接所述第1冷却台和所述第2冷却台的连接部分，所述连接部分被插入到所述安装孔中，

在所述连接部分与所述安装孔之间，在靠近所述主开口一侧形成有上方间隙，在远离所述主开口一侧形成有下方间隙，所述上方间隙的宽度比所述下方间隙的宽度宽。

7.一种低温泵，其特征在于，具备：

第1低温板，其具备：具有主开口的放射屏蔽件及配设于所述主开口的入口低温板；以及

第2低温板，被所述第1低温板包围，并且具备与所述入口低温板对置的顶板，且被冷却至温度低于所述第1低温板，

所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述顶板的侧向且用于安装制冷机的第1冷却台；以及开环状部分，在周向上与所述安装座邻接，

在所述安装座与所述顶板之间形成有包括狭窄部的侧向间隙，在所述开环状部分与所述顶板之间形成有开环状间隙，所述开环状间隙与所述侧向间隙连接从而形成闭环状间隙，

所述入口低温板具备在周向上位于与所述狭窄部对置的位置的气体遮蔽区域。