[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种包含含有可动叶片(moving blade)部与固定叶片部的排气部的真空泵(Vacuum pump)。

背景技术

涡轮分子泵(Turbo Molecular Pump)等真空泵中，在泵容器内，使包含多段排列的可动叶片部的转子高速地旋转，通过可动叶片部、与排列在可动叶片部的各段之间的固定叶片(stationary blade)部，将气体分子从吸气口侧移送至排气埠侧。

各段的可动叶片部包含转子叶片(rotor blade)，各段的固定叶片部包含定子叶片(statorb1ade)。各固定叶片部是由配设在固定叶片部外周的间隔件而以规定间隔被支撑。固定叶片部是将一对对半分开的环状构件组合而形成为一个轮状。也就是说，将对半分开的环状构件作为对接部的两个对接端部相互对接而形成一个轮。转子叶片及定子叶片形成为相对于转子的旋转面而倾斜。

作为制作固定叶片部的方法，有通过机械加工而形成的方法、及通过塑性加工而形成的方法。通过塑性加工制作的方法在成本方面有利。

通过塑性加工进行制作的方法是以如下方式进行制作：对金属板进行压制加工，利用内周轮圈与外周轮圈将以规定的倾斜角度沿着圆周方向排列的多个定子叶片连结。由于加工时的偏差，对半分开的环状构件的圆周长有时会比设计尺寸长。因此，在将对半分开的环状构件的对接端部对接而形成一个轮时，对半分开的环状构件的对接端部会相互重叠，或者因对接端部彼此的反作用力而使对接端部产生翘曲。

以往，已知有一种结构，在对半分开的环状构件已对接的状态下，在内周轮圈的对接面上设置着狭缝(例如，参照专利文献1)。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-77713号公报

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的真空泵存在的缺陷，如上所述，若加工时对半分开的环状构件的圆周长出现偏差，则固定叶片部会产生重叠或翘曲。专利文献1中，对于此类问题，并无应对措施等的记载。而提供一种新的真空泵，所要解决的技术问题是使其抑制由于分割固定叶片部在对接部产生重叠或翘曲而导致组装时固定叶片部发生变形，非常适于实用。本发明适用于包含将可动叶片部与固定叶片部多段地层叠而成的排气部的真空泵。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的真空泵的固定叶片部包含两片以上的分割固定叶片部，分割固定叶片部各自在周方向的两端部包含对接端部，将各分割固定叶片部各自的对接端部相互对接而形成固定叶片部，分割固定叶片部各自包含：由间隔件夹持的外周轮圈；位于固定叶片部的内周侧前端的内周轮圈；及多个定子叶片，在外周轮圈与内周轮圈之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体倾斜而形成多个排气开口；多个分割固定叶片部在相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上形成着缺口，所述缺口在相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的真空泵，其中所述的分割固定叶片部各自是由平板而制作成相同形状，在各分割固定叶片部的对接端部的其中一个上，由内周轮圈的对接端面、与外周轮圈的对接端面形成第1对接面，在对接端部的另一个上，由内周轮圈的端面、外周轮圈的端面、及形成开口部的缘构件的端面形成第2对接面，将第1对接面与第2对接面相互抵接而形成固定叶片部。

前述的真空泵，其中所述缺口在外周轮圈上设为周方向上具有规定宽度、径向上具有规定长度的矩形形状。

前述的真空泵，其中所述的在多个分割固定叶片部对接的内周轮圈中至少其中一个的端面上，设置着从该内周轮圈弯曲的弯曲部。从有效地进行对接作业的观点出发，优选此种构成。

借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点及有益效果：

根据本发明，即便由于分割固定叶片部的加工时的尺寸偏差，导致对接端部间的圆周长形成地比设计尺寸长的情况下，也能够抑制在组装固定叶片部时，多个分割固定叶片部的外周轮圈的端部重叠、或分割固定叶片部自身、甚至固定叶片部自身产生翘曲的状况。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是作为本发明的真空泵的一个实施方式的涡轮分子泵的截面图。

图2是图1中的区域II的放大图。