[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，包含排气功能部，该排气功能部是在配置为多段的可动叶片部间分别配置固定叶片部而成，所述固定叶片部是由间隔件夹持，该真空泵的特征在于：

所述固定叶片部包含两片以上的分割固定叶片部，

所述分割固定叶片部各自在周方向的两端部包含对接端部，将各分割固定叶片部各自的对接端部相互对接而形成所述固定叶片部，

所述分割固定叶片部各自包含：由所述间隔件夹持的外周轮圈；位于所述固定叶片部的内周侧前端的内周轮圈；及多个定子叶片，在所述外周轮圈与所述内周轮圈之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体倾斜而形成多个排气开口，

所述多个分割固定叶片部在相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上形成着缺口，所述缺口在相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述分割固定叶片部各自是由平板而制作成相同形状，

在所述各分割固定叶片部的对接端部的其中一个上，由所述内周轮圈的对接端面、与所述外周轮圈的对接端面形成第1对接面，在所述对接端部的另一个上，由所述内周轮圈的端面、所述外周轮圈的端面、及形成开口部的缘构件的端面形成第2对接面，

将所述第1对接面与第2对接面相互抵接而形成所述固定叶片部。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述缺口在所述外周轮圈上设为周方向上具有规定宽度、径向上具有规定长度的矩形形状。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

在所述多个分割固定叶片部对接的内周轮圈中至少其中一个的端面上，设置着从该内周轮圈弯曲的弯曲部。