[发明专利]一种光刻胶

权利要求书

1.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括以下重量份的组分：10-50份碱溶性树脂、5-25份光聚合单体、0.5-8份光引发剂、20-80份溶剂、0.1-5份颜料，所述碱溶性树脂由乙烯系不饱和单体和丙烯系不饱和单体中的至少一种与（甲基）丙烯酸单体、以及马来酸酐单体进行共聚反应得到，且所述碱溶性树脂的玻璃化转变温度大于或等于120℃。

2.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述乙烯系不饱和单体、所述丙烯系不饱和单体均带有如下结构单元：

R为氢或甲基；

R1为苯基、羟基苯基、甲基苯基、乙基苯基、萘基或腈基；

R2、R3均为碳原子数为1-8的烷基、碳原子数为1-8的羟烷基、二烷基胺烷基、苯基、苄基或月桂酯基，所述二烷基胺烷基中烷基的碳原子数为1-8；

R4为碳原子数为3-8的烷基。

3.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光聚合单体选自（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸羟乙酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、单（甲基）丙烯酸聚乙二醇酯、1,3-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、1,4-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、1,6-丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、甘油二（甲基）丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯，己二醇丙烯酸二酯、聚乙二醇200二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇400二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇600二（甲基）丙烯酸酯、甘油三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇单羟基三（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇单羟基五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光引发剂选自苯偶姻类、苯乙酮类、胺基苯乙酮类、酰基膦氧化物类、二苯甲酮类、蒽醌类、噻吨酮类、三芳基咪唑二聚体类、吖啶类、二苯基钛茂类、叔胺类光引发剂中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述溶剂选自酯类溶剂、醚类溶剂、醇类溶剂、酮类溶剂、芳香类溶剂、石油系溶剂中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶还包括以下重量份的组分：1-5份助剂。

7.根据权利要求6所述的光刻胶，其特征在于，所述助剂选自稳定剂、流平剂、消泡剂、防缩孔剂、附着力促进剂以及表面爽滑剂中的至少一种。

8.根据权利要求7所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括以下重量份的组分：20-40份碱溶性树脂、10-20份光聚合单体、1-5份光引发剂、40-60份溶剂、0.5-2份颜料、以及2-3份助剂。