[发明专利]振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体

说明书

提供耐冲击性优异且可抑制振动泄漏的产生的振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。作为振动片的音叉型振动片（1）包含：形成在包含第1轴和与其垂直的第2轴的平面上的基部（14）；从基部（14）起沿第1轴方向以比基部（14）的厚度薄的厚度延伸设置的连接部（20）；从连接部（20）的端部（20a）起沿第1轴方向以与连接部（20）的厚度相同的厚度延伸设置的振动臂（11、12、13），振动臂（11、12、13）沿着与所述平面垂直的方向进行弯曲振动，连接部（20）被设置成连接部（20）在第1轴方向上的长度L2与振动臂（11、12、13）在第1轴方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。

技术领域

本发明涉及振动片以及搭载有该振动片的振子、电子器件、电子设备、移动体。

背景技术

伴随振动器件的小型化，为了在维持与以往同等特性的同时实现小型化，采用如下的振动片。具体而言，是如下的振动片：采用具有从基部朝相同方向延伸出的3个振动臂的构造，在各振动臂的一面上层叠电极膜和压电体膜而形成压电体元件（例如参照专利文献1、专利文献2）。

但是，在专利文献1所示的振动片中，振动片的振动特性有时会由于振动臂的振动传播到支撑振动臂的基部的所谓振动泄漏而劣化。与此相对，在专利文献2所示的振动片中，通过在振动臂与基部之间设置宽度比基部窄的细宽度的缓冲部，抑制了振动泄漏。

【专利文献1】日本特开2012-34093号公报

【专利文献2】日本特开2008-224628号公报

但是，在上述专利文献2所示的振动片中，由于在基部与振动臂之间设置了细宽度的缓冲部，因此，在向振动片施加例如下落等冲击的情况下，冲击的应力集中到细宽度的缓冲部，从而在缓冲部的位置处振动片可能被损坏。在本发明中，提供耐冲击性优异且可抑制振动泄漏的产生的振动片。

发明内容

本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其可以作为以下的方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例的振动片的特征在于，该振动片包含：基部，其设置在包含第1轴和垂直于所述第1轴的第2轴的平面上；连接部，其从所述基部起沿着所述第1轴以比所述基部的厚度薄的厚度延伸设置；以及振动臂，其从所述连接部的一端起沿着所述第1轴延伸设置，所述振动臂沿着与所述平面垂直的方向进行弯曲振动，所述连接部被设置成所述连接部在所述第1轴的方向上的长度L2与所述振动臂在所述第1轴的方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。

根据本应用例，从基部起沿着所述第1轴设置有连接部，被设置成连接部在第1轴的方向上的长度L2与振动臂在第1轴的方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。通过设为这种结构，能够得到如下的振动片，该振动片可防止耐冲击性的劣化，同时抑制振动臂的振动在连接部衰减而引起的向基部传播振动（振动泄漏）。

[应用例2]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述振动臂具有并行设置的第1振动臂和第2振动臂，所述第1振动臂与所述第2振动臂相互朝相反方向进行弯曲振动。

根据本应用例，能够得到如下的振动片，该振动片可防止耐冲击性的劣化，同时抑制相互朝相反方向进行弯曲振动的振动臂的振动在连接部抵消而引起的向基部传播振动（振动泄漏）。

[应用例3]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述振动臂的厚度与所述连接部相同。

根据本应用例，能够通过将振动臂的厚度与连接部的厚度设为相同，减少在振动臂进行弯曲振动时应力集中于振动臂的根部。

[应用例4]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述基部、所述连接部以及所述振动臂由石英构成。