[发明专利]振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体有效
| 申请号: | 201410057919.4 | 申请日: | 2014-02-20 |
| 公开(公告)号: | CN104006808B | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
| 发明(设计)人: | 山崎隆 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | G01C19/5607 | 分类号: | G01C19/5607;G01C19/56;G01C19/5621 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;马建军 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 振动臂 振动片 基部 电子器件 电子设备 厚度延伸 移动体 振子 音叉型振动片 耐冲击性 平面垂直 弯曲振动 抑制振动 垂直的 泄漏 | ||
1.一种振动片,其特征在于,该振动片具有:
基部,其设置于平面上,该平面包含第1轴和垂直于所述第1轴的第2轴;
连接部,其厚度比所述基部的厚度小,从所述基部的一端起沿着所述第1轴延伸设置;
第1振动臂及第2振动臂,它们从所述连接部起沿着所述第1轴延伸设置;
第1压电体元件,其配设于所述第1振动臂上;以及
第2压电体元件,其配设于所述第2振动臂上,
所述第1压电体元件包括第1电极膜,
所述第2压电体元件包括第2电极膜,
俯视时,在所述连接部配设有将所述第1电极膜与所述第2电极膜电连接的连接部通孔布线,
所述第1振动臂及所述第2振动臂相对于所述平面沿着垂直方向进行弯曲振动,
所述连接部被设置成:所述连接部在所述第1轴的方向上的长度L2与所述第1振动臂及所述第2振动臂在所述第1轴的方向上的长度L1之间的关系处于
L1/15≤L2≤L1的范围内。
2.根据权利要求1所述的振动片,其特征在于,
所述第1振动臂及所述第2振动臂的厚度与所述连接部相同。
3.根据权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述基部、所述连接部、所述第1振动臂及所述第2振动臂由石英构成。
4.根据权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述基部、所述连接部、所述第1振动臂及所述第2振动臂由半导体构成。
5.一种振子,其特征在于,该振子具有:
权利要求1至4中的任一项所述的振动片;以及
收纳有所述振动片的容器。
6.一种电子器件,其特征在于,该电子器件具有:
权利要求1至4中的任一项所述的振动片;以及
驱动所述振动片的电路元件。
7.一种电子设备,其特征在于,该电子设备具有权利要求1至4中的任一项所述的振动片。
8.一种移动体,其特征在于,该移动体具有权利要求1至4中的任一项所述的振动片。
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