[发明专利]基板处理系统及基板反转装置

说明书

本发明是有关于一种基板处理系统及基板反转装置。其中该基板处理系统可连续地进行基板的反转，该基板处理系统具备：第1及第2搬送装置，借由相隔间隙配置的多个单位搬送要素搬送基板；以及基板反转装置，具备一对保持臂群，该一对保持臂群相对于旋转轴配置成旋转对称，且具有绕旋转轴旋转时通过单位搬送要素的间隙的多个保持臂，借由升降手段升降自如；在使一对保持臂群的一方的保持臂具备的多个吸附部吸附于反转对象基板的状态下，使吸附部吸附于反转对象基板，之后，借由使一对保持臂群绕旋转轴旋转180度，使基板反转；一对保持臂群，在基板吸附后、反转完成前的期间，上升地较基板交接位置高，在反转后、解除吸附时，下降至基板交接位置。

技术领域

本发明涉及一种对基板两面进行加工处理的基板处理系统，特别是涉及一种进行基板的反转的基板反转装置。

背景技术

作为将玻璃基板等的脆性材料基板(以下，仅称为基板)加以分断的方法，广泛地使用下述方法，即使刀轮一边压接于基板的一面一边转动而形成刻划线后，使基板表面背面反转，以裂断杆按压另一面的先前形成的刻划线的正上方部位以进行裂断。上述情形，必须要有对基板一面形成刻划线后使该基板表面背面反转的机构。

在液晶面板的制作过程中，一般而言，二片脆性材料基板贴合而成的也称为贴合基板的大的母基板，是借由刀轮进行的刻划线的形成分断，但作为上述分断的方法，广泛地使用下述方法，即使刀轮依序一边压接于母基板的表面背面一边转动而形成刻划线、也即使刀轮依序一边压接于构成母基板的各脆性材料基板的表面一边转动而形成刻划线。此情形，也必须借由反转机构使基板反转。

例如，具备将基板从上下夹入并使其反转的反转机构，将在基板的一面已形成刻划线的基板从上游侧暂时安装在该反转机构并使其反转，将反转后的基板交接至下游侧的装置的基板分断系统已为公知(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2010-76957号公报

发明内容

专利文献1揭示的现有习知反转机构的情形，反转已完成的先前基板从反转机构搬出之前，无法开始下一个基板的反转。因此，会有无法进行连续分断处理且作业效率低的问题。

本发明是有鉴于上述课题而构成，其目的在于提供一种新型结构的基板反转装置及具备此基板反转装置的基板处理系统，所要解决的技术问题是使其借由连续地进行基板的反转而能以高处理效率进行基板加工处理。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种基板处理系统，具备：第1搬送装置及第2搬送装置,分别将脆性材料基板往第1方向搬送；以及基板反转装置，配置在该第1搬送装置与该第2搬送装置之间，使被该第1搬送装置搬送来的该脆性材料基板反转并交接至该第2搬送装置；该第1搬送装置与该第2搬送装置,借由在与该第1方向正交的第2方向相隔间隙配置的多个单位搬送要素一边在下方支承一个该脆性材料基板一边搬送；该基板反转装置，具备：一对保持臂群，相对于往该第2方向延伸的旋转轴配置成旋转对称；旋转驱动手段，使该一对保持臂群绕该旋转轴旋转；及升降手段，使该一对保持臂群在该第1搬送装置及该第2搬送装置的间，在交接该脆性材料基板的高度位置即基板交接位置与其上方之间升降；该一对保持臂群分别具有在该第2方向彼此分离配置且绕该旋转轴旋转时通过该间隙的多个保持臂；该多个保持臂分别具备可吸附于该脆性材料基板的多个吸附部；在该一对保持臂群配置在该基板交接位置的状态下，使属于该一对保持臂群的一方的该多个保持臂的该多个吸附部吸附于作为反转对象的该脆性材料基板即反转对象基板，之后，借由使该一对保持臂群绕该旋转轴旋转180度，使该反转对象基板反转；该一对保持臂群，在该反转对象基板吸附于该多个吸附部后、该反转对象基板的反转完成前的期间，上升地较该基板交接位置高，在该反转对象基板的反转后、解除对该反转对象基板的该多个吸附部的吸附时，下降至该基板交接位置。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。