[发明专利]图案检查装置及图案检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及对透明基材上的图案进行检查的图案检查装置及图案检查方法。

背景技术

在制造智能手机等中利用的触摸屏时，在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）薄膜等的透明薄膜上形成金属配线图案。作为引线的金属配线图案形成在触摸屏的外缘部上，与形成在作为触摸屏的画面的中央部上的透明电极图案相连接。近年来，为了增大触摸屏的画面，进行将外缘部上的金属配线图案的图案要素形成得更细小的研究。在该情况下，为了在与以往相同的条件下将相同大小的电流施加到金属配线图案上，通过将金属配线图案的厚度设置得比以往大（增大高宽比）来保持图案要素的截面面积。

此外，在日本特开昭62-119444号公报（文献1）、日本特开2006-72147号公报（文献2）及日本特开2006-105816号公报（文献3）中，公开了如下的检查基材上的图案的方法，即，通过获取反射图像和透过图像来检查基材上的图案，该反射图像基于照射至透明基材的一侧主表面上的光的反射光而形成，该透过图像基于照射至基材的另一侧主表面上的光的透过光而形成。

但是，金属配线图案是例如通过局部蚀刻金属薄膜来形成的。此时，根据蚀刻条件，有时图案要素的上表面变成粗糙的状态或者图案要素蚀刻得不够锐利（Sharp）。从而，对图案要素的上表面和图案要素的下端（下部）这两房进行检查的要求变高。在利用印刷电子技术（Printed Electronics）形成金属配线图案的情况下，由于图案要素的下端易变宽，因而对金属配线图案的下端检查的必要性进一步变高。

在该情况下，为了如上述那样获取微细的图案要素的图像，需要高分辨率（NA（数值孔径）高）的光学系统。另一方面，在高分辨率的光学系统中，焦点深度变浅，变得比图案要素的上表面和下端之间的距离还小。从而，为了检查图案要素的上表面和下端，需要通过变更对焦位置来获取两次图像。另外，还可以考虑应用文献1至文献3的方法来获取表示图案要素的上表面的反射图像和表示图案要素的下端的透过图像。然而，即使在任何情况下，因过度蚀刻等而使图案要素的下端变细时，都不能获取图案要素的下端状态。因此，要求能够容易检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况的新方法。

发明内容

本发明针对用于检查透明基材上的图案的图案检查装置，其目的在于，容易地检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况。

本发明的图案检查装置包括：第一图像获取部，其将来自第一光源部的光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；第二图像获取部，其将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；检查部，其基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。根据本发明，能够容易地检查出图案要素下端的变粗情况或变细情况。

在本发明的一个优选的方式中，所述第一光源部出射第一波段的光；所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；所述第一图像获取部具有防止所述第二波段的光入射至所述第一受光部的光学元件；所述第二图像获取部具有防止所述第一波段的光入射至所述第二受光部的光学元件；并且，同时获取所述上表面反射图像和所述下表面反射图像。由此，能够快速地检查透明基材上的图案。

在本发明的另一优选的方式中，图案检查装置还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。由此，能够容易地检测出图案要素的上表面上的凹陷。

优选地，所述图案由金属形成。

本发明还针对利用图案检查装置来检查透明基材上的图案的图案检查方法。

上述的目的及其他的目的、特征、方式及优点，通过以下参照附图进行的对本发明的详细说明得以明确。

附图说明

图1是示出图案检查装置的结构的图。

图2是示出图像获取单元的内部结构的图。

图3是示出检查透明基材上的图案的动作流程的图。

图4是示出透明基材上的图案的剖视图。

图5是示出透明基材上的图案的剖视图。

图6是示出上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。

图7是示出上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。

图8是示出图案要素的俯视图。