[发明专利]图案检查装置及图案检查方法

权利要求书

1.一种图案检查装置，用于检查透明基材上的图案，其特征在于，包括：

第一图像获取部，其将来自第一光源部的光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；

第二图像获取部，其将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；

检查部，其基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。

2.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，

所述第一光源部出射第一波段的光；

所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；

所述第一图像获取部具有防止所述第二波段的光入射至所述第一受光部的光学元件；

所述第二图像获取部具有防止所述第一波段的光入射至所述第二受光部的光学元件；

并且，同时获取所述上表面反射图像和所述下表面反射图像。

3.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

4.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，还具有第三图像获取部，该第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，所述图案由金属形成。

6.一种图案检查方法，利用图案检查装置来检查透明基材上的图案，其特征在于，包括以下工序：

工序a），将来自第一光源部的光照射至在板状或薄膜状的透明基材上形成有图案的一侧主表面上，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；

工序b），将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；

工序c），基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。

7.如权利要求6所述的图案检查方法，其特征在于，

所述第一光源部出射第一波段的光；

所述第二光源部出射与所述第一波段不同的第二波段的光；

所述第一图像获取部具有防止所述第二波段的光入射至所述第一受光部的光学元件；

所述第二图像获取部具有防止所述第一波段的光入射至所述第二受光部的光学元件；

并且，同时获取所述上表面反射图像和所述下表面反射图像。

8.如权利要求6所述的图案检查方法，其特征在于，还具有透过图像获取工序，在该透过图像获取工序中，第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

9.如权利要求7所述的图案检查方法，其特征在于，还具有透过图像获取工序，在该透过图像获取工序中，第三图像获取部接受从所述第一光源部或所述第二光源部出射后透过了所述透明基材的光，由此获取透过图像。

10.如权利要求6至9中任一项所述的图案检查方法，其特征在于，所述图案由金属形成。