[发明专利]光学模块以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及光学模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中，已知有具有彼此相对的一对反射膜，通过改变该反射膜之间的间隙尺寸，从而从测定对象的光中取出规定波长的光的波长可变干涉滤波器(例如，参照专利文献1)。

专利文献1所述的波长可变干涉滤波器(光谐振器)具有彼此相对的第一基板以及第二基板、分别配置在各基板上并间隔着反射膜之间的间隙彼此相对的反射膜，以及分别配置在各基板上并彼此相对的电极。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过向电极之间施加电压，使隔膜变形，从而能够调整反射膜间间隙。

可是，在上述专利文献1的波长可变干涉滤波器中，例如在隔膜的刚性或厚度尺寸不均匀的情况下，当改变反射膜间间隙的间隙尺寸时，隔膜无法均匀挠曲，有反射膜彼此之间的平行度恶化之忧。并且，在未向电极之间施加电压的初始状态，也存在反射膜彼此之间未维持平行的情况，这时，如果通过静电引力变更间隙尺寸，则存在导致反射膜彼此之间的平行度进一步恶化，波长可变干涉滤波器的分辨率降低的课题。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平7-243963号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有高分辨率的光学模块以及电子设备。

本发明的光学模块，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板相对配置的第二基板；设在所述第一基板上，使入射光的一部分反射一部分透过的第一反射膜；设在所述第二基板上，与所述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过的第二反射膜；设在所述第一基板上的第一控制电极；设在所述第二基板上，与所述第一控制电极相对的第二控制电极；以及，使第一控制电流在沿所述第一基板的基板面的第一方向流过所述第一控制电极，并使第二控制电流在沿所述第二基板的基板面且在从基板厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二控制电极的倾斜控制部。

在本发明中，第一控制电极和第二控制电极彼此相对，流过第一控制电极的第一控制电流和流过第二控制电极的第二控制电流为相反方向。因此，第一控制电极以及第二控制电极分别作用有洛伦兹力的斥力。当与第一控制电极以及第二控制电极的曲率半径相比，第一控制电极和第二控制电极之间的间隙尺寸充分小时，洛伦兹力与第一控制电极以及第二控制电极之间的间隙尺寸成反比例，因此，间隙尺寸较大部分作用有较小的斥力，但间隙尺寸较小的部分作用有较大的斥力。也就是说，第二基板相对于第一基板倾斜时，为了抑制该倾斜而作用有所述斥力，能够抑制第一反射膜和第二反射膜的平行度的恶化。从而，能够维持光学模块的高分辨率。

优选地，在本发明的光学模块中，所述第一控制电极和所述第二控制电极之间的间隙尺寸小于所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸。

在本发明中，当通过间隙变更部变更反射膜间间隙尺寸时，第一控制电极和第二控制电极相接触，从而能够防止第一反射膜和第二反射膜接触，能够防止由于接触导致的第一反射膜和第二反射膜的劣化。

优选地，在本发明的光学模块中，所述第一控制电极设在所述俯视观察中所述第一反射膜的外侧，所述第二控制电极设在所述俯视观察中所述第二反射膜的外侧。

在本发明中，第一控制电极和第二控制电极分别设在第一反射膜和第二反射膜的外侧。在这样的结构中，能够扩大第一反射膜和第二反射膜的有效面积(通过干涉使所需波长的光透过或反射的区域的面积)。并且，当采用第一反射膜和第二反射膜与第一控制电极和第二控制电极不接触(绝缘状态)的结构时，如果作为第一反射膜和第二反射膜采用具有导电性的材料，则也能够将该第一反射膜和第二反射膜用作例如检测电容用电极等的电极。

优选地，在本发明的光学模块中，在所述俯视观察中所述第一控制电极与所述第一反射膜重叠设置，在所述俯视观察中所述第二控制电极与所述第二反射膜重叠设置。

在本发明中，第一控制电极设在与第一反射膜重叠的区域，第二控制电极设在与第二反射膜重叠的区域。因此，通过第一控制电极和第二控制电极使斥力直接作用于设有第一反射膜和第二反射膜的区域，从而能够更高精度地改善反射膜的倾斜，进而能够进一步提高平行度。

优选地，在本发明的光学模块中，所述第一控制电极和所述第二控制电极中的至少任一方电极在与另一方电极相对的面设有绝缘膜。

在本发明中，能够防止第一控制电极和第二控制电极相接触时的短路。

优选地，本发明的光学模块具备：变更所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部。